热电型检测器、热电型检测装置以及电子设备制造方法及图纸

技术编号:7205003 阅读:220 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了热电型检测器、热电型检测装置和电子设备。该热电型检测器包括电容器的热电型检测元件搭载于面对空穴部而由支撑部支撑的支撑部件上,其中,所述电容器包括:第一电极、第二电极以及配置在这些电极之间的热电材料。其层叠顺序为沿第一方向,支撑部、支撑部件、热电型检测元件的顺序,其中,支撑部件在至少与第一电极连接的所述第一面侧具有第一绝缘层,在将与所述第一方向相反的方向作为第二方向时,第一绝缘层与比该第一绝缘层更位于所述第二方向侧上的第二绝缘层相比,氢含有率更小。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及热电型检测器、热电型检测装置以及电子设备等。
技术介绍
作为热电型检测装置,已知热电型或辐射热测量计型红外线检测装置。红外线检测装置利用热电体部件的自发极化量随着所接收的红外线的光量(温度)而变化(热电效应或焦电子(pyroelectric)效应)的现象,使热电体的两端产生电动势(极化产生的电荷)(热电型),或是根据温度改变电阻值(辐射热测量计型),从而检测红外线。热电型红外线检测装置与辐射热测量计型红外线检测装置相比,虽然制造工序复杂,但是具有检测灵敏度高的优点。热电型红外线检测装置的单元(cell)具有包括与上部电极和下部电极连接的热电体,关于电极和热电体的材料,已经提出了各种方案(专利文献1)。并且,包括与上部电极和下部电极连接的强电介质的电容器正在用于强电介质存储器,而关于适合于强电介质存储器的电极和强电介质的材料,也已经提出了各种方案 (专利文献2、3)。在这里,热电型红外线检测器沿从下层向上层的第一方向,以支撑部、支撑部件 (膜)、包括电容器的热电型红外线检测元件的顺序层叠。也就是说,电容器在形成了由基材等形成的支撑部和被该支撑部支撑的膜状的支撑部件(膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热电型检测器,其特征在于,具有:热电型检测元件,所述热电型检测元件包括具有第一电极、第二电极以及配置在所述第一电极和所述第二电极之间的热电材料的电容器;支撑部件,包括第一面和与所述第一面相对的第二面,所述第二面的至少一部分面对空穴部配置,在所述第一面上搭载有所述热电型检测元件;以及支撑部,所述支撑部支撑所述支撑部件的所述第二面的一部分,所述支撑部、所述支撑部件以及所述热电型检测元件沿第一方向以该顺序层叠,所述支撑部件至少在与所述第一电极接触的所述第一面侧具有第一绝缘层,在将与所述第一方向相反的方向作为第二方向时,所述第一绝缘层与比所述第一绝缘层更位于所述第二方向侧的第二绝缘层相比,氢含...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:野田贵史
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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