热电型检测器、热电型检测装置以及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了热电型检测器、热电型检测装置和电子设备。搭载在面对空穴部而配置的支撑部件上部的热电型检测元件具有电容器以及层间绝缘层，电容器包括在包括第一区域和第二区域的第一电极的第一区域上部形成的热电材料、以及形成在热电材料上部的第二电极；层间绝缘层覆盖电容器的表面并具有通到第一电极的第二区域的第一接触孔以及通到第二电极的第二接触孔。并且，在与嵌入到第一接触孔的第一插头连接的第一电极配线层和与嵌入到第二接触孔的第二插头连接的第二电极配线层中，第二电极配线层的热传导率比第二插头部分的第二电极的热传导率低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及热电型检测器、热电型检测装置以及电子设备等。
技术介绍
作为热电型检测装置，已知热电型或辐射热测量计型红外线检测装置。红外线检测装置利用热电体部件的自发极化量随着所接收的红外线的光量(温度)而变化(热电效应或焦电子(pyroelectric)效应)的现象，使热电体的两端产生电动势(极化产生的电荷)(热电型)，或是根据温度改变电阻值(辐射热测量计型)，从而检测红外线。热电型红外线检测装置与辐射热测量计型红外线检测装置相比，虽然制造工艺复杂，但是具有检测灵敏度高的优点。热电型红外线检测装置的单元(cell)具有红外线检测元件，该红外线检测元件包括电容器，而该电容器由与上部电极和下部电极连接的热电体形成，关于电极、热电体的材料和电极配线结构，已经提出了各种方案(专利文献1、2)。并且，包括与上部电极和下部电极连接的强电介质的电容器正在用于强电介质存储器，而关于适合于强电介质存储器的电极和强电介质的材料，也已经提出了各种方案 (专利文献3、4)。专利文献1是下部电极自身被绕回而兼用作下部电极配线，并且，上部电极自身被绕回而兼用作上部电极配线层。电容器的下部电极和上部电极从所本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种热电型检测器，具有：热电型检测元件；支撑部件，所述支撑部件包括第一面和与所述第一面相对的第二面，所述第二面面对空穴部配置，在所述第一面上搭载所述热电型检测元件；以及所述热电型检测元件包括：电容器，所述电容器包括：搭载在所述支撑部件的上部并包括形成有热电材料的第一区域和从所述第一区域延伸形成的第二区域的第一电极、形成在所述第一电极的第一区域的上部的所述热电材料、以及形成在所述热电材料的上部的第二电极；层间绝缘层，所述层间绝缘层覆盖所述电容器的表面并具有通到所述第一电极的所述第二区域的第一接触孔和通到所述第二电极的第二接触孔；嵌入所述第一接触孔的第一插头；嵌入所述第二接触孔的第二插头；形成...

【技术特征摘要】
2010.06.25 JP 2010-1448971.一种热电型检测器，具有 热电型检测元件；支撑部件，所述支撑部件包括第一面和与所述第一面相对的第二面，所述第二面面对空穴部配置，在所述第一面上搭载所述热电型检测元件；以及所述热电型检测元件包括电容器，所述电容器包括搭载在所述支撑部件的上部并包括形成有热电材料的第一区域和从所述第一区域延伸形成的第二区域的第一电极、形成在所述第一电极的第一区域的上部的所述热电材料、以及形成在所述热电材料的上部的第二电极；层间绝缘层，所述层间绝缘层覆盖所述电容器的表面并具有通到所述第一电极的所述第二区域的第一接触孔和通到所述第二电极的第二接触孔； 嵌入所述第一接触孔的第一插头； 嵌入所述第二接触孔的第二插头；形成在所述层间绝缘层和所述支撑部件的上部并与所述第一插头连接的第一电极配线层；以及形成在所述层间绝缘层和所述支撑部件上面并与所述第二插头连接的第二电极配线层，形成所述第二电极配线层的材料的热传导率比形成与所述第二插头连接的部分的所述第二电极的材料的热传导率低。2.根据权利要求1所述的热电型检测器，其特征在于，形成所述第一电极配线层的材料的热传导率比形成与所述第一插头连接的部分的所述第一电极的材料的热传导率低。3.根据权利要求1或2所述的热电型检测器，其特征在于，所述第一电极配线层和所述第二电极配线层中的至少之一含有氮化钛或氮化铝钛。4.根据权利要求1至3中任一项所述的热电型检测器，其特征在于，所述第二电极的热传导性比所述第一电极的热传导性大。5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：野田贵史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP