【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于制造双面接触的太阳能电池的方法，该方法基于具有介电层的晶圆的微结构化和被微结构化的区域的掺杂。随后实现含金属的成核层的沉积以及接触的电镀加固。本专利技术还涉及能够以这种方式制造的太阳能电池。
技术介绍
太阳能电池的制造与用于精密加工晶圆的大量工序相关联。这里包括发射极扩散、介电层的施加及其微结构化、晶圆的掺杂、接触、成核层的施加及其加厚。关于正面接触的微结构化，目前常见的应用是薄氮化硅层(SiNx)的微结构化。这些层就商业电池而言目前形成标准减反射涂层。由于该减反射涂层还部分地起到太阳能电池的正面钝化作用，并且该层在正面金属化之前被施加，因此必须通过相应的微结构化使此非导电层局部开口，以便将金属接触直接施加到硅衬底上。因此，现有技术是利用含玻璃粉的金属膏印刷SiNx层。首先进行干燥以驱除有机溶剂，然后在高温下(大约900°C )烧成。由此玻璃粉破坏SiNx层，使SiNx层局部溶解，因此能够形成硅-金属接触。这种方法的缺陷是由玻璃粉产生的高接触电阻(> IO-3Qcm2) 以及能够降低钝化层质量和硅衬底质量的必需的高工艺温度。用于使Si...
【技术保护点】
１．用于制造双面接触的太阳能电池的方法，其中ａ）晶圆的正面和背面的至少一些区域内涂敷至少一个介电层；ｂ）实现所述至少一个介电层的微结构化；ｃ）通过引导至少一个液体射流在待掺杂表面的一些区域上方，实现被微结构化的表面区域的掺杂，该至少一个液体射流指向实体的表面且包括至少一种掺杂剂，并利用激光束提前或同时局部加热该待掺杂表面；ｄ）在该晶圆的背面上的至少一些区域内沉积含金属的成核层；以及ｅ）为了该晶圆的双面接触，实现在晶圆的正面和背面上金属化的至少一些区域内的电镀沉积。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：菲利普·格拉内克，丹尼尔·克赖，库诺·迈尔，莫尼卡·阿莱曼，西比尔·霍普曼，
申请(专利权)人：弗兰霍菲尔运输应用研究公司，
类型：发明
国别省市：DE
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