构成机械增压泵、涡轮分子泵或干式泵的部件的表面处理方法及通过该表面处理方法处理过的机械增压泵、涡轮分子泵或干式泵技术

本发明专利技术的目的是提供一种耐蚀性优异、放出气体少的构成机械增压泵、涡轮分子泵或干式泵的部件的表面处理方法以及通过该表面处理方法处理过的干式泵。其特征为，构成机械增压泵、涡轮分子泵或干式泵的部件由铝或铝合金构成，将所述部件表面浸渍到碱性溶液中，进行微弧氧化处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
１．一种构成干式泵的部件的表面处理方法，其特征在于，构成机械增压泵、涡轮分子泵或干式泵的部件由铝或铝合金构成，将所述部件表面浸渍于碱性溶液中，进行微弧氧化处理。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：石榑文昭，稻吉荣，三浦辰也，佐藤洋志，石川裕一，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP