【技术实现步骤摘要】
本技术属于单晶炉
,涉及一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆。
技术介绍
TDR-90单晶炉上的单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆在其接头出一般采用水密封结构,具体结构是在端面采用0型圈密封并继续用螺母锁紧。由于电缆为柔性材料,会在径向微动中造成间隙而出现微漏。针对上述的问题,中国专利申请号为200820222131. 4名称为“一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆接头”公开了如下结构该单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆包括线圈接头、螺母、接管和接头,接头的另一端与线圈接头之间设置接管和螺母,螺母与线圈接头外壁的细螺纹配合连接,固定接管与电缆接头。电缆接头与线圈接头之间为设置0形密封圈,两者之间的密封面为锥面。该专利虽然用锥面结构和0形密封圈来是电缆接头和线圈接头之间形成轴向和径向密封,但是由于螺母需要同时固定接管和0形密封圈,接管和线圈接接头之间又是锥形面,因此对螺母的制作工艺就要求很高,容易导致螺母在压紧接管时却没有压紧0形密封圈,或者压紧0形密封时却没有压紧接管。
技术实现思路
本技术针对现有的技术存在上述问题,提出了一种单晶炉的坩埚 ...
【技术保护点】
1.一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆,包括电极接头(1)和与电极接头(1)连接的接管(2),所述的接管(2)外套有螺母(4),该螺母(4)和上述的电极接头(1)之间通过螺纹相连接,其特征在于,在接管(2)外还套有O形密封圈(5),该O形密封圈(5)的内径与接管(2)的外径相配合,并在螺母(4)的作用下压紧在电极接头(1)的端面上和产生径向变形后压紧在接管(2)的周面上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:莫丹君,颜卫兵,
申请(专利权)人:浙江宏业新能源有限公司,
类型:实用新型
国别省市:33
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