下载一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆的技术资料

文档序号:7171505

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本实用新型涉及一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆,属于单晶炉技术领域。它解决了现有技术中由于电缆为柔性材料,会在径向微动中造成间隙而出现微漏的问题。该系统包括电极接头和与电极接头连接的接管,所述的接管外套有螺母,该螺母和上述的电极接...
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