光纤母材的制造方法技术

本发明专利技术的光纤母材的制造方法包含脱水工序和烧结工序。在所述脱水工序中，将多孔玻璃母材收纳于脱水烧结炉的炉心管中，使用含氩气的脱水剂对所述多孔玻璃母材进行脱水处理。在所述烧结工序中，对经所述脱水工序脱水处理的所述多孔玻璃母材进行烧结。并且，在所述脱水工序中，在使导热系数比所述氩气的导热系数高的高导热系数气体残留在所述多孔玻璃母材内的状态下，开始对所述多孔玻璃母材进行升温。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及利用多孔玻璃母材脱水烧结的。本申请主张基于2009年3月12日在日本申请的特愿2009-059956号的优先权， 在此援引其内容。
技术介绍
以往，作为石英系光纤制造用的，已知利用VAD法、OVD法等制造多孔玻璃母材，将构成该多孔玻璃母材的玻璃微粒(烟垢Soot)脱水烧结从而使其透明玻璃化，获得光纤母材的方法。作为对多孔玻璃母材进行脱水时的脱水剂使用氯(Cl2)、 亚硫酰氯(SOCl2)、四氯化碳(CCl4)等，与非活性气体混合而向脱水烧结装置内供给。以往，作为运载、稀释等目的而向脱水剂混合的非活性气体，优先使用如专利文献 1 3所示的氦(He)气。此外，在专利文献4中记载有由于氦气的气体扩散系数及气体溶解度大，与氮等相比难以残留在玻璃内，因此有抑制玻璃内产生气泡的效果。专利文献专利文献1 特开2002-68770号公报专利文献2 特开2002-187733号公报专利文献3 特开2003-183042号公报专利文献4 特开平11-1336号公报
技术实现思路
与氩(Ar)气、氮汎)气等相比，氦气价格极高。因此，从制造成本的观点来看，在脱水工序中使用氦气作为与脱水剂混合的非活性气体并不优选。但是，在使用氩气作为与脱水剂混合的非活性气体时，如果对收纳多孔玻璃母材的炉心管用氩气进行置换后开始脱水工序，则有可能产生脱水不良。其原因是由于氩气的导热系数比氦气低，因此热难以传导到多孔玻璃母材的中心部，不能使多孔玻璃微粒层叠体的整体升温到充分的所希望的温度。另一方面，如果为了提高多孔玻璃母材中心部的温度而提高加热温度，则由于过度促进多孔玻璃母材表面的脱水玻璃化，在多孔玻璃母材内部脱水剂难以扩散，反而成为脱水不良的原因。可通过延长处理时间来代替提高加热温度，从而促进中心部的脱水。但是，有生产率下降、制造成本增大这样的问题。本专利技术是鉴于上述情况进行的。本专利技术的目的是提供一种， 其能够以比以往低的成本进行多孔玻璃母材的脱水烧结，并且能有效地进行脱水。本专利技术第一方式涉及的具备如下工序将多孔玻璃母材收纳于脱水烧结炉的炉心管，使用含氩气的脱水剂对上述多孔玻璃母材进行脱水处理的脱水工序；和对经该脱水工序脱水处理的上述多孔玻璃母材进行烧结的烧结工序；其中，在上述脱水工序中，在使导热系数比上述氩气的导热系数高的高导热系数气体残留在上述多孔玻璃母材内的状态下，开始对上述多孔玻璃母材进行升温。此外，本专利技术第二方式涉及的具备如下工序将多孔玻璃母材收纳于脱水烧结炉的炉心管，使用含氩气的脱水剂对上述多孔玻璃母材进行脱水处理的脱水工序；和对经该脱水工序脱水处理的上述多孔玻璃母材进行烧结的烧结工序；其中，在上述脱水工序中，用导热系数比上述氩气的导热系数高的高导热系数气体来净化 (purge)炉心管内之后，使上述高导热系数气体残留在上述多孔玻璃母材内的状态下开始对上述多孔玻璃母材进行升温。此外，上述可以为如下构成在上述脱水工序中，用上述高导热系数气体净化上述多孔玻璃母材的内部之后，开始上述脱水处理。此外，上述可以为如下构成上述高导热系数气体为选自氦气、空气、氮气、氖气中的至少一种。此外，上述可以为如下构成上述高导热系数气体为氮气。此外，上述可以为如下构成在上述脱水工序中，开始对上述多孔玻璃母材进行升温时，上述炉心管容积的30% 90%被氩所置换。此外，上述可以为如下构成在上述脱水工序中开始对上述多孔玻璃母材进行升温时，上述炉心管容积的40% 80%被氩所置换。用氦、氮等进行净化，则减少所制造的光纤母材中产生颗粒这样的不良情况，因此优选。应予说明，在本申请说明书中，将用氦、氮等替换脱水前的炉心管内的气体称作净化。 此外，将用氩气替换烧结前的炉心管内的气体称作置换。根据本专利技术，在开始脱水工序时能促进多孔玻璃母材中心部的升温。此外，即使将廉价的氩气用作与脱水剂混合的非活性气体，也能对烟垢充分进行脱水。由此抑制脱水不良的同时能降低脱水工序的成本。附图说明图1为表示在本专利技术第一实施方式中所用的脱水烧结装置的一例的示意截面图。图2A为表示关于比较例1的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图2B为表示关于实施例1的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图2C为表示关于实施例2的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图2D为表示关于实施例3的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图3A为表示关于实施例4的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图;3B为表示关于实施例5的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图3C为表示关于实施例7的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图4A为表示关于实施例8的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图4B为表示关于实施例9的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图4C为表示关于实施例10的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图5为表示本专利技术的一个方式所用的脱水烧结装置的另一例的示意截面图。图6A为表示关于比较例2的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图6B为表示关于实施例11的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图6C为表示关于实施例12的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图6D为表示关于实施例13的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图7A为表示关于实施例14的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。图7B为表示关于实施例15的1383nm处损耗的纵向变化的坐标图。具体实施例方式以下，对于本专利技术第一实施方式涉及的，参照附图进行说明。 应予说明，该实施方式是为了更好地理解
技术实现思路
而进行的具体说明，只要未特别指定，就不限定本专利技术。本实施方式涉及的所用的脱水烧结装置的示例在图1、图5 中表示。这些脱水烧结装置10、10A具备收纳由支撑部件2，2A支撑的多孔玻璃母材1、1A 的炉心管IlUlA ；设置于炉心管IlUlA周围的加热器12U2A ；将通过脱水剂流路14U4A 供给的脱水剂与通过非活性气体流路15、15A供给的非活性气体混合，将该混合物供给到炉心管IlUlA的脱水气体供给口 13，13A;用于将来自炉心管IlUlA的排气排出的排气流路16、16A ；和为了氧浓度计18、18A的监控而从排气流路16，16A分支的分支流路17、17A。本实施方式涉及的例如可使用上述的脱水烧结装置10、10A 来进行，具有将含有非活性气体的脱水剂供给于炉心管IlUlA内而对多孔玻璃母材1、 IA (多孔烟垢体)进行脱水处理的脱水工序，和对经脱水处理的多孔玻璃母材1、1A进行烧结的烧结工序。作为脱水剂使用氯(Cl2)、亚硫酰氯(SOCl2)、四氯化碳(CCl4)等。以下，也将脱水剂称作脱水气体。脱水气体可以含氩气。脱水剂以相对于氩气为10体积％以下的比率使用。作为炉心管11、11A，可使用例如石英(二氧化硅)玻璃制的马弗炉或碳制的管寸。图1所示的脱水烧结装置10中，利用支撑部件2使多孔玻璃母材1缓慢地下降， 从而用加热器12从多孔玻璃母材1的下端到上端为止依次加热。图5所示的脱水烧结装置IOA中，加热器12A能对多孔玻璃母材IA的整体进行加热。本专利技术涉及的该实施方式中，使用氩气作为与脱水剂混合的非活性气体，在脱水工序中对多孔玻璃母材1、1A升温之前，使具有比氩气高的导热系数的气体(以下，将其简称为“高导热系数气体”)本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种光纤母材的制造方法，其特征在于，具备如下工序：脱水工序，将多孔玻璃母材收纳于脱水烧结炉的炉心管，使用含氩气的脱水剂对所述多孔玻璃母材进行脱水处理，和烧结工序，对经该脱水工序脱水处理的所述多孔玻璃母材进行烧结，其中，在所述脱水工序中，在使导热系数比所述氩气的导热系数高的高导热系数气体残留在所述多孔玻璃母材内的状态下，开始对所述多孔玻璃母材进行升温。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：滨田贵弘，
申请(专利权)人：株式会社藤仓，
类型：发明
国别省市：JP