垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置制造方法及图纸

提供一种密封性良好、并且能够实现省空间化的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置。本发明专利技术是由在中心部具有贯通状的通路（２ａ）的测流孔基座（２），在中心部具有连通到上述测流孔基座（２）的通路（２ａ）的贯通状的通路（３ａ）的测流孔基座（３），和以气密状插装在两测流孔基座（２、３）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（４）构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座（２、３）的外侧端面分别作为密封面（２ｃ、３ｃ）的垫圈型测流孔（１），将上述两测流孔基座（２、３）中的位于下游侧的测流孔基座（３）的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座（２）的外径大，将位于下游侧的测流孔基座（３）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（３ｄ）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在夹设于半导体制造设备或化学工业设备、药品工业设备、食品工业设备等的流体供给线中、进行流体的流量控制的压力式流量控制装置中使用的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置，特别设计密封性良好、并且能够实现省空间化的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置。
技术介绍
以往，作为这种垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置，已知有例如在特开2007 - 057474号公报(参照专利文献1)中公开的构造。即，上述垫圈型测流孔20如图19所示，是将具备嵌合用突部21a的测流孔基座21 与具备嵌合用凹部22a的测流孔基座22组合、在两测流孔基座21、22的端面之间以气密状插装形成有测流孔口(图示省略)的测流孔板23、并且将两测流孔基座21、22的外侧端面分别作为密封面21b、22b的结构。该垫圈型测流孔20由于在使外侧端面为密封面21b、22b的两测流孔基座21、22 之间插装测流孔板23，所以能够不发生变形而将测流孔板23夹持到两测流孔基座21、22之间。结果，具有能够使用具有高精度的测流孔口的很薄的金属板制的测流孔板23、并且能够不使测流孔板23变形而组装到压力式流量控制装置中的优点。此外，使用上述垫圈型测流孔20的压力式流量控制装置虽然没有图示，但具备控制阀、配设在控制阀的下游侧的流体通路上的垫圈型测流孔20、配设在垫圈型测流孔20的上游侧、检测垫圈型测流孔20的上游侧压力的压力传感器、和控制控制阀的控制电路，是一边根据垫圈型测流孔20的上游侧压力运算测流孔通过流量一边通过控制阀的开闭来控制测流孔通过流量的装置。该压力式流量控制装置由于使用上述垫圈型测流孔20，所以具有能够防止测流孔 20的安装时的变形的优点。以往的垫圈型测流孔20由于使两测流孔基座21、22的外侧端面分别为密封面 21b、22b，所以当装入到压力式流量控制装置的流体通路时，能够充分确保垫圈型测流孔20 的两端面的密封性。但是，该垫圈型测流孔20由于将测流孔板23收容到测流孔基座22的嵌合用凹部 22a内、通过将测流孔基座21的嵌合用突部21a向测流孔基座22的嵌合用凹部22a内压入、将测流孔板23以气密状插装到两测流孔基座21、22之间，所以有为了完全防止从测流孔板23的密封部向外部泄露、在测流孔板23的压入工序中需要仔细注意的问题。另一方面，在使用测流孔的压力式流量控制装置中，开发了在控制阀的下游侧形成两个并列状的流体通路、在一个流体通路中设置小流量用的测流孔、并且在另一个流体通路中设置切换阀和大流量用的测流孔、通过切换阀的动作将流体流量的控制范围切换为小流量域和大流量域、能够遍及大范围的流量域进行高精度的流量控制的压力式流量控制装置(例如，参照专利文献2)。6图20表示使用两个测流孔的压力式流量控制装置的纵剖视图，在图20中，对是控制阀，25是切换阀J6是控制阀M及切换阀25的兼用阀体，26a是形成在阀体沈上的上游侧的流体通路，26b是在阀体沈上以并列状形成的下游侧的两个流体通路，27是固定在阀体沈的上游侧的入口侧块，27a是形成在入口侧块27上的入口侧流体通路，28是固定在阀体沈的下游侧的出口侧块，28a是形成在出口侧块观上的出口侧流体通路，29是配设在下游侧的一个流体通路26b中的小流量用的垫圈型测流孔(与图19所示的垫圈型测流孔 20相同)，30是配设在下游侧的另一个流体通路26b中的大流量用的垫圈型测流孔(构造与图19所示不同的垫圈型测流孔)，31是配设在阀体沈上的压力传感器，32是夹设在阀体沈与入口侧块27之间的垫圈型过滤器。另外，小流量用的垫圈型测流孔四及大流量用的垫圈型测流孔30也有使用相同的构造、而仅变更测流孔的孔径的情况。在上述压力式流量控制装置中使用垫圈型测流孔的情况下，必须在并列形成的两个流体通路中分别设置流量特性不同的两个垫圈型测流孔四、30，所以有不能实现省空间化的问题。此外，在测流孔中使用图19所示的构造的垫圈型测流孔20的情况下，有为了完全防止从测流孔板23的密封部向外部泄露、在测流孔板23的压入工序中需要仔细注意的问题。专利文献1 特开2007 — 057474号公报， 专利文献2 特开2007 - 004644号公报。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的问题而提出的，其目的是提供一种密封性良好、并且能够实现省空间化的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置。为了达到上述目的，本专利技术技术方案1的垫圈型测流孔是由在中心部具有贯通状的通路的测流孔基座，在中心部具有连通到上述测流孔基座的通路的贯通状的通路的测流孔基座，和以气密状插装在两测流孔基座之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座的外侧端面分别作为密封面的垫圈型测流孔，其特征在于，将上述两测流孔基座中的位于下游侧的测流孔基座的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座的外径大，将位于下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分作为密封面。此外，本专利技术技术方案2的垫圈型测流孔的特征在于，使一个测流孔基座为在内侧端面上具备嵌合用突部的凸形的测流孔基座，此外，使另一个测流孔基座为在内侧端面上具备嵌合用凹部的凹形的测流孔基座，上述凸形的测流孔基座的嵌合用突部以气密状嵌合在上述嵌合用凹部中。此外，本专利技术技术方案3的垫圈型测流孔的特征在于，测流孔板在中心部形成有连通到凸形的测流孔基座的通路及凹形的测流孔基座的通路的测流孔口，以气密状插装在凸形的测流孔基座的嵌合用突部与凹形的测流孔基座的嵌合用凹部之间。此外，本专利技术技术方案4的垫圈型测流孔的特征在于，由在中心部具有通路的上游侧的测流孔基座，连接在上游侧的测流孔基座上而设置、形成为比该测流孔基座大径的在中心部具有通路的下游侧的测流孔基座，形成在两测流孔基座的通路之间、在中心部形成有使上述两通路连通的测流孔口的隔壁状的测流孔部构成，配设在流体通路中，将两测流孔基座的外侧端面和下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分分别作为密封面。此外，本专利技术技术方案5的垫圈型测流孔是由在中心部具有贯通状的通路的测流孔基座，在中心部具有贯通状的通路的测流孔基座，在中心部具有连通到上述两测流孔基座的通路的贯通状的通路、一端面对置于一个测流孔基座、并且另一端面对置于另一个测流孔基座的中间测流孔基座，以气密状插装在一个测流孔基座与中间测流孔基座之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板，和以气密状插装在中间测流孔基座与另一个测流孔基座之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座的外侧端面分别作为密封面的垫圈型测流孔，其特征在于，将上述两测流孔基座中的位于下游侧的测流孔基座的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座及中间测流孔基座的外径大，将位于下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分作为密封面，此外，在上述中间测流孔基座上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座的通路的分流通路。此外，本专利技术技术方案6的垫圈型测流孔的特征在于，使一个测流孔基座为在内侧端面具备嵌合用突部的凸形的测流孔基座，此外，使另一个测流孔基座为在内侧端面具备嵌合用凹部的凹形的测流孔基座，进而，使中间测流孔基座为在一端面上具备以气密状嵌合凸形的测流孔基座的嵌合用突部的嵌合用凹部、并且在另一端面本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．　一种垫圈型测流孔，是由在中心部具有贯通状的通路（２ａ）的测流孔基座（２），在中心部具有连通到上述测流孔基座（２）的通路（２ａ）的贯通状的通路（３ａ）的测流孔基座（３），和以气密状插装在两测流孔基座（２、３）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（４）构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座（２、３）的外侧端面分别作为密封面（２ｃ、３ｃ）的垫圈型测流孔（１），其特征在于，将上述两测流孔基座（２、３）中的位于下游侧的测流孔基座（３）的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座（２）的外径大，将位于下游侧的测流孔基座（３）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（３ｄ）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：广濑隆，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：JP