一个目标区域的快速扫描制造技术

技术编号:7155324 阅读:212 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种用于利用一束接近目标点的射线照射一个目标的方法,包括一些步骤:测量其中至少一个关于射线的位置和射线的强度的参数,根据所述至少一个测量的参数改变射线,特别是根据关于所述至少一个测量的参数的一个偏差改变射线。方法的特征在于,每个目标点最多一次对所述至少一个测量的参数进行测量。此外本发明专利技术还涉及一种用于按照本发明专利技术方法照射一个目标设备和一个用于控制一种这样的设备的控制系统。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
1.用于利用一束接近目标点的射线(105)照射一个目标(102)的方法,包括的步骤是:测量射线的位置和射线的强度这些参数中的至少一个参数,根据所述至少一个测量的参数改变射线,特别是根据关于所述至少一个测量的参数的一个偏差改变射线,其特征在于,每个目标点最多一次对所述至少一个测量的参数进行测量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:C·贝尔特
申请(专利权)人:GSI重离子研究亥姆霍茨中心有限公司
类型:发明
国别省市:DE

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