玻璃基板再生装置制造方法及图纸

玻璃基板再生装置（１０）是对以大致水平支撑的状态由搬运装置搬运的基板进行再生处理的装置，朝向不良基板的搬运方向依次具备第１碱性液处理部（１２）、酸性液处理部（１４）以及第２碱性液处理部（１６）。第１碱性液处理部（１２）向从基板搬入部（１１）所搬入的不良基板喷射碱性液，剥离最上层的树脂层。酸性液处理部（１４）向由喷淋水洗部（１３）淋洗完的不良基板喷射酸性液，剥离中间层的金属层。第２碱性液处理部（１６）向由喷淋水洗部（１５）淋洗完的不良基板喷射碱性液，剥离最下层的树脂层。根据玻璃基板再生装置（１０），可在短时间内完成玻璃基板（２）的再生处理，亦可抑制玻璃基板（２）的损伤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种玻璃基板再生装置，其从液晶显示装置等所使用的彩色滤光器的 制造工序中所产生的不良基板(未满足质量基准的基板)再生玻璃基板。
技术介绍
图15是表示彩色液晶显示装置所使用的彩色滤光器的一例的剖面图。彩色滤光器101具备有玻璃基板2、形成于玻璃基板2上的黑阵列(BM) 3、红色的 着色像素(R像素)4R、绿色的着色像素(G像素)4G、蓝色的着色像素(B像素)4B(以下将 RGB各像素总称为“着色像素4”)、ITO (铟锡氧化物，Indium Tin Oxide)等的透明电极5、 光间隔片(PS)以及垂直取向部(VA)7。作为这种构造的彩色滤光器101的制造方法，已知 光蚀刻法、印刷法以及喷墨法。图16是表示光蚀刻法的各工序的流程图。首先，将BM形成于玻璃基板上(SlOl)。接着，清洁玻璃基板(S102)，在玻璃基 板上涂布RGB的任一种着色光阻剂，并进行预干燥(S103)，之后为了使基板上的着色光阻 剂干燥、硬化，而进行预烘焙(S104)。然后，使用光掩模将基板上的着色光阻剂进行曝光 (S105)，在进行显影处理后(S106)，使已图形化的着色光阻剂硬化(S107)。本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种玻璃基板再生装置，一面搬运在玻璃基板上形成有１层以上的、含有树脂及金属的任一种的层的不良基板，一面从上述不良基板再生上述玻璃基板，该装置至少具有：第１碱性液处理部，用碱性液处理上述不良基板，并将位于上述不良基板的表面的第１树脂层剥离；第１酸性液处理部，设置于上述第１碱性液处理部的下游，用酸性液处理上述不良基板，并将位于上述不良基板的表面的金属膜剥离；第２碱性液处理部，设置于上述酸性液处理部的下游，用碱性液处理上述不良基板，并将位于上述玻璃基板的表面的第２树脂层剥离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：濑川达弥，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：JP