下载玻璃基板再生装置的技术资料

文档序号:7142806

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玻璃基板再生装置(10)是对以大致水平支撑的状态由搬运装置搬运的基板进行再生处理的装置,朝向不良基板的搬运方向依次具备第1碱性液处理部(12)、酸性液处理部(14)以及第2碱性液处理部(16)。第1碱性液处理部(12)向从基板搬入部(11)...
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