测量和校正多斑扫描设备中的透镜畸变制造技术

本发明专利技术提供一种确定成像系统（３２）的畸变的方法，所述成像系统具有物平面（４０）和像平面（４２）。所述方法包括如下步骤：通过分析图像数据确定（２０４）图像传感器（３４）的敏感区域（４４）上的图像光斑（４６）的位置；以及拟合（２０５）映射函数，使得所述映射函数将辅助点阵（４８）的点阵点映射到所述图像光斑（４６）的位置，其中，所述辅助点阵（４８）在几何结构上类似于所述探针光斑（６）的布拉维点阵（８）。本发明专利技术还提供使用具有物平面（４０）和像平面（４２）的成像系统（３２）对样品进行成像的方法，所述方法包括以下步骤：通过将映射函数应用于辅助点阵（４８）的点阵点，确定（３０４）所述图像传感器（３４）的所述敏感区域（４４）上的读出点，所述辅助点阵在几何结构上类似于所述探针光斑（６）的布拉维点阵（８）；以及从所述敏感区域（４４）上的所述读出点读取（３０５）图像数据。还公开了用于确定成像系统的畸变的测量系统（１０）、以及多斑光学扫描设备（１０）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及确定成像系统的畸变的方法，该成像系统具有物平面和像平面。本专利技术还涉及用于确定具有物平面和像平面的成像系统的畸变的测量系统，该测 量系统包括用于在物平面中生成探针光斑的阵列的斑生成器，探针光斑按照一维或二维 布拉维点阵布置；具有敏感区域的图像传感器，该敏感区域布置为能够与图像光斑的阵列 相互作用；以及耦合至图像传感器的信息处理设备。本专利技术还涉及使用具有物平面和像平面的成像系统对样品进行成像的方法。本专利技术还涉及多斑光学扫描设备，特别是多斑光学扫描显微镜，包括具有物平面 和像平面的成像系统；斑生成器，用于在物平面中生成探针光斑的阵列，由此在像平面中生 成对应的图像光斑的阵列，其中探针光斑按照一维或二维布拉维点阵布置；具有敏感区域 的图像传感器，该敏感区域布置为能够与图像光斑的阵列相互作用；以及耦合至图像传感 器的信息处理设备。
技术介绍
光学扫描显微镜是用于提供显微样品的高分辨率图像的良好确立的技术。根据 此技术，在样品中生成一个或数个区别的、高强度光斑。因为样品调制光斑的光，所以检测 并分析来自光斑的光产生关于光斑处的样品的信息。通过扫描样品相对光斑的相对位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种确定成像系统（３２）的畸变的方法，所述成像系统具有物平面（４０）和像平面（４２），其中所述方法包括如下步骤：－在所述物平面（４０）中生成（２０１）探针光斑（６）的阵列，由此在所述像平面（４２）中生成对应的图像光斑（４６）的阵列，其中，所述探针光斑（６）根据一维或二维布拉维点阵（８）布置；－设置（２０２）图像传感器（３４），使得其敏感区域（４４）与所述图像光斑（４６）相互作用；－从所述图像传感器（３４）读取（２０３）图像数据；－通过分析所述图像数据确定（２０４）所述敏感区域（４４）上的所述图像光斑（４６）的位置；以及－拟合（２０５）映射函数，使得所述映射函数将辅助点阵（４８）的点阵点映射...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：B·胡什肯，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL