【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种由卷筒展开衬底在所述衬底上实行薄膜形成工艺来制造薄膜太阳能电池的装置，以及一种制造薄膜太阳能电池的方法。
技术介绍
与堆积类型的硅太阳能电池相比，非晶硅(a-Si)太阳能电池极大地降低了硅原料 的使用量。因此，非晶硅太阳能电池已非常值得注重，因为它们解决了原材料缺乏的问题。 进一步而言，使用微晶硅膜(nc-Si)代替a-Si膜作为电能生成层的Si微晶薄膜太阳能电 池是已知的一种薄膜太阳能电池。一种已知的用于制造前面所描述的薄膜太阳能电池的方法是所谓的卷到卷 (roll-to-roll)工艺(参考专利文献日本特开平专利公布文本No. 6-291349)，在展开一 卷衬底并将所述衬底卷绕到另一个卷筒上的同时，在移动的衬底上形成电能生成层。在另 一种使用绕成卷筒的衬底的制造方法中，无论什么时候当衬底的膜形成区域被定位于膜形 成隔室内时，令衬底暂停展开，以便在衬底上实行膜形成工艺。这是已知的所谓步进式卷工 艺(参考专利文献日本特开平专利公布文本No. 11-288890)。大体而言，在大批量生产过 程中，强烈要求缩减转换效率所需要的成本。因此，在制造过...
【技术保护点】
１．一种制造薄膜太阳能电池的装置，该装置包括：一衬底输送单元，具有一对设在一真空舱内的卷筒，其中所述卷筒对被转动，将衬底从其中一个卷筒输送到另外一个卷筒；以及一电能生成层形成单元，具有多个膜形成隔室，在所述卷筒对之间沿所述衬底输送方向被区隔开，其中，所述多个膜形成隔室中的每一个隔室在所述衬底上形成半导体层，构成多个半导体层的层叠体的电能生成层；其中所述多个膜形成隔室中的每一个隔室都包括沿着所述输送方向朝向所述衬底布置的多个扁平应用电极，所述多个扁平应用电极中的每一个电极都包括提供有ＶＨＦ频带内的高频电源的电源端子，并且当所述高频电源的波长由λ所表示时，所述扁平应用电极的边缘...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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