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一种用于制造增加膜特性均匀性的薄膜太阳能电池的装置。在输送衬底（Ｓ）从一个卷筒（Ｒ１）到另一个卷筒（Ｒ２）的过程中，在所述卷筒对（Ｒ１，Ｒ２）之间沿输送方向（Ｄ）区隔开的多个膜形成隔室（２３Ａ）中形成多个半导体层的层叠体的电能生成层（１２）...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

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