用于晶片切片的碳纳米管纤维线制造技术

本发明专利技术提供一种用于切割硬质材料的线锯，所述线锯包括由碳纳米管旋制而成的碳纳米管纤维线。所述碳纳米管纤维线可由多根纤维制成，每根纤维均由碳纳米管旋制而成，所述纤维扭绞到一起以形成所述线。此外，所述线还可包括金刚石粒子、碳化硅粒子和／或额外的碳纳米管以增强所述线的研磨特性。提供了一种用于对硅刚玉切片的方法，包括：在旋转的圆筒之间线性地平移碳纳米管纤维线，同时将所述线维持在张力下；使用夹具，将所述硅刚玉移动到所述移动的张紧线上，从而所述线切割入所述硅；将润滑液输送到所述硅的表面上，在所述表面处使所述润滑液与所述线接触；和在所述润滑液离开所述硅的所述表面之后收集所述润滑液。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术通常涉及用于切割硬质材料的线锯，并且更具体来说涉及具有用于切割硅 刚玉的碳纳米管纤维线的线锯。
技术介绍
线锯是用于切割硬质和脆性材料。线锯用来从用于半导体工业和光伏工业的硅刚 玉/晶锭上切割硅晶片。图1、图2和图3中示出了用于切割硅晶片的线锯的示意图。图1 示出具有馈送于两个卷轴110之间的单线105的先前技术线锯。线105在四个圆筒115上 多次通过，从而形成用于切割由夹具130夹住的硬质材料125的线120的网。为了简单说 明，仅示出三根切割线的网120。然而，实际上，用于切割硅刚玉的网将含有大量的线。线的 数量是由要从刚玉上同时切割的晶片的数量来确定。圆筒115既用于线性地移动线105，如 所指示，也用于帮助在线105中维持适当张力。(可以通过定位于第一卷轴与圆筒之间和第 二卷轴与圆筒之间的两个张紧装置来张紧该线。图中未示出此类张紧装置。)圆筒115绕 其中央轴线旋转。硬质材料125被固定至夹具130。夹具130经配置以沿垂直于线120的 网的方向移动，以使得可以将硬质材料125移动到线120的网上并且通过这些移动的线来 切割。美国专利No. 5，829，424中本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于切割硬质材料的线锯，其包含由碳纳米管旋制而成的碳纳米管纤维线。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：R·C·巴克拉克，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US