本发明专利技术所要解决的技术问题是，能够实现节省作业的工时，谋求生产节拍时间的提高，防止了制品性能的劣化的层叠加工。本发明专利技术中，来自薄膜卷放机构部（１４）的薄膜滚筒（２４ａ～２４ｄ）（图６）的薄膜（１３）在覆膜卷绕机构部（１５）被剥取其覆膜（１３ａ）（图４），并被送向基板间处理机构部（１６）。在基板间处理机构部（１６），由半切割部件（３４）和剥离带（３６）（图７），如图９所示，以规定的间隔按照每个规定的长度剥取薄膜（１３）的封闭材料薄膜（５’）（图４），形成片状封闭材料（５）。被这样处理的薄膜（１３）被送向层叠机构部（１９），片状封闭材料（５）被加热压接在来自前室１０的基板（１），在基板冷却机构部（３０）被冷却，在基膜卷绕机构部（２１）剥取薄膜（１３）的基膜（１３ｂ）（图４）。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及有机EL (Electro Luminescence 电致发光)面板的制造，尤其涉及在涂覆(设置)了有机EL元件的基板上粘贴片状封闭材料进行封闭的基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法。
技术介绍
有机EL面板是做成在被粘合的2张基板之间纵横排列了多个有机EL元件的结构的部件，但在制造相关的有机EL面板时，以往，这些有机EL元件分别被封闭材料封闭。作为这样的有机EL面板的制造方法的一个以往例，有将有机EL元件从其上下用水湿透过率小的有机薄膜夹住，将这些有机薄膜的从有机EL元件的上下面溢出部分通过热压接来一体化，用相关的有机薄膜将该有机EL元件封闭，将相关的有机EL元件用于有机 EL面板的例子(例如参见专利文献1)。另外，虽与有机EL面板的制造无关，但也提出了在腔内的真空环境气体内将薄膜层叠(粘贴)的技术(例如参见专利文献2)。该专利文献2记载的技术是在基膜上层叠保护薄膜的技术，是将基膜从设置在腔的外侧的供给轧辊送入腔内，另外，也将保护薄膜从设置在腔的外侧的供给轧辊送入腔内的技术，是保护薄膜被加压轧辊加热、加压而被粘合在该基膜上的技术。这里，粘合在基膜上的保护薄膜从设置了开闭自由的闸门的导入口被导入腔内。在先技术文献专利文献专利文献1 日本特开平2-197075号公报专利文献2 日本特开2002_5沈10号公报但是，上述专利文献1记载的技术是按照每个有机EL元件以覆盖其整体的方式进行层叠的技术，由于是像这样在由一个一个的有机薄膜制作层叠的有机EL元件后，用于制作有机LE元件的技术，所以，成为花费工时的作业，且由于相关的层叠加工在大气中进行， 因此，还存在受到周围环境的影响，混入尘埃或受到湿气等的影响，导致EL元件的特性劣化的可能性。与此相对，在上述专利文献2记载的技术中，由于在腔内的真空环境气体内进行层叠加工，所以，与在大气中进行层叠加工的情况相比，能够抑制在层叠时产生薄膜的皱褶、在薄膜(即，保护薄膜)和粘合了它的物品(即，基膜)之间产生气泡，但是，由于这些基膜、保护薄膜从外部被连续地导入腔内，所以，存在从它们的导入口向腔内的空气的泄漏， 导致腔内的真空度的降低，存在湿气、尘埃等也随着该空气的泄漏进入腔内，使粘合了保护薄膜的制品的性能劣化的问题。另外，在上述专利文献2记载的技术中，在保护薄膜的导入口设置开闭自由的闸门，考虑了通过调整它的开闭状态，尽量降低空气向腔内的泄漏的情况，据此，若间门成为接触保护薄膜那样的状态，则会损伤该保护薄膜，给被层叠加工的制品的特性带来不良影响。本专利技术的目的是解决相关的问题，提供一种能够实施节省作业的工时，谋求生产节拍时间的提高，防止了制品性能的劣化的层叠加工的基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法。
技术实现思路
为了实现上述第一目的，本专利技术的特征在于，具备内置了将片状封闭材料向基板上粘贴的薄膜粘合装置的容积大的腔、用于将该基板运入腔的比腔容积小的前室、将在薄膜粘合装置粘贴了片状封闭材料的基板从该腔内排出的比腔容积小的后室，在前室的基板运入口侧和腔侧以及后室的腔侧和基板排出口侧分别设置门阀，且腔内也包括基板被运入 排出时在内，总是被保持为高真空状态，薄膜粘合装置由以规定的间隔运送从前室运入的基板的基板运送构件、将多条夹着片状封闭材料设置了覆膜和基膜的规定宽度的薄膜卷放的薄膜卷放机构部、将覆膜从由薄膜卷放机构部卷放的多条薄膜分别剥落，进行卷绕的覆膜卷绕机构部、从在覆膜卷绕机构部被剥取了覆膜的多条薄膜分别剥取成为由基板运送构件运送的基板的间隔的密封状封闭材料的部分，并在多条薄膜的各自的基膜上形成与基板分别对应的多个密封状封闭材料的基板间处理机构部、按照由基板运送构件从前室运入的每个基板，进行基板的前端部和来自基板间处理机构部的薄膜的与基板对应的密封状封闭材料的前端的定位的校直机构部、将来自校直机构部的多条薄膜的与基板对应的多个密封状封闭材料向由基板运送构件运送的基板粘贴的粘贴机构部、从在来自粘贴机构部的基板上粘贴了片状封闭材料的多条薄膜分别剥取基膜，并进行卷绕的基膜卷绕机构部构成； 基板运送构件将粘贴有在基膜卷绕机构部被剥取了多条薄膜的基膜的多个片状封闭材料的状态下的基板向后室排出。另外，本专利技术的特征在于，在前室和后室，具备用于使室内从干燥空气状态成为与上述腔内相等的高真空状态的真空泵。再有，本专利技术的特征在于，基板处理机构部由搭载多个薄膜的表面被处理为非粘接性的工作台、将多个薄膜以其长度方向的规定的间隔向工作台的表面按压的一对按压板、对多个薄膜的由一对按压板按压在工作台的表面的部分之间的上述片状封闭材料在其长度方向按照上述基板的间隔进行切割的半切割用圆盘刀、将多个薄膜的由半切割用圆盘刀切割的部分的上述片状封闭材料从上述基膜剥离的带剥离机构构成。再有，本专利技术的特征在于，在粘贴机构部和上述基膜卷绕机构部之间设置冷却上述基板的基板冷却机构部。为了实现上述目的，基于本专利技术的有机EL面板的制造方法的特征在于，包括打开设置在容积小的前室的基板运入口的第一门阀，将框状地涂覆有密封剂且在密封剂的框的内侧设置了多个EL元件的基板运入前室内的运入工序、将基板从基板运入口运入前室且将第一门阀关闭，使前室内成为高真空状态的真空化工序、打开设置在高真空状态的前室和被保持为高真空状态的容积大的腔之间的第二门阀，将基板从前室向腔内运送，在基板向腔运送后，关闭第二门阀的运送工序、在腔内，将片状封闭材料向基板的密封剂的框内粘贴的封闭材料粘贴工序、使容积小的后室内成为高真空状态，打开设置在腔和后室之间的第三门阀，将粘贴有片状封闭材料的基板从腔向后室运送的运送工序、关闭设置在后室的基板排出口的第三门阀，打开第四门阀，使后室内成为大气状态，将后室内的粘贴了片状封闭材料的基板从基板排出口排出的排出工序；封闭材料粘贴工序包括以规定的间隔依次运送从前室运入的基板的工序、将多条夹着片状封闭材料设置了覆膜和基膜的规定宽度的薄膜卷放的工序、从被卷放的多条薄膜分别将覆膜剥落并卷绕的工序、从被剥取了覆膜的多条薄膜分别剥取成为被运送的基板的间隔的密封状封闭材料部分，并在多条薄膜的各自的基膜上形成与基板分别对应的多个密封状封闭材料的工序、按照从前室运入的每个基板， 进行基板的前端部和薄膜的与基板对应的密封状封闭材料的前端的定位的工序、在被运送的基板上粘贴多条薄膜的与基板对应的多个密封状封闭材料的工序、将粘贴了多个密封状封闭材料的基板冷却的工序、从在被冷却的基板上粘贴有片状封闭材料的多条薄膜分别剥取基膜并卷绕的工序。专利技术效果根据本专利技术，由于将规定宽度的片状封闭材料在减压(真空)或惰性气体的环境气体内同时运送，并向元件玻璃基板粘合，所以，能够防止尘埃的附着、气泡、皱褶等的产生，还能够由薄膜卷放机构部、覆膜卷绕机构部、基膜卷绕机构部将薄膜的张力保持为一定，能够提高片状封闭材料向元件玻璃基板的粘贴精度、粘贴了片状封闭材料的元件玻璃基板的品质。另外，由于基板在腔的出入中，在比该腔容积小的前室、后室进行减压和大气压的变更，所以，能够总是将容积大的腔内保持为减压或惰性气体的环境气体状态，能够缩短环境气体状态的变更所需的时间，能够谋求生产节拍时间的提高。附图说明图1是表示基于本专利技术的基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种基板表面的封闭装置，其特征在于，具备内置了将片状封闭材料向基板上粘贴的薄膜粘合装置的腔、用于将该基板运入该腔的比该腔容积小的前室、将在该薄膜粘合装置粘贴了该片状封闭材料的该基板从该腔内排出的比该腔容积小的后室，在该前室的基板运入口侧和腔侧以及该后室的腔侧和基板排出口侧分别设置门阀，且该腔内也包括基板被运入·排出时在内，总是被保持为高真空状态，该薄膜粘合装置由以规定的间隔运送从该前室运入的该基板的基板运送构件、将多条夹着片状封闭材料并设置了覆膜和基膜的规定宽度的薄膜卷放的薄膜卷放机构部、将该覆膜从由该薄膜卷放机构部卷放的该多条薄膜分别剥落，进行卷绕的覆膜卷绕机构部、从在该覆膜卷绕机构部被剥取了该覆膜的该多条薄膜分别剥取成为由该基板运送构件运送的该基板的间隔的该密封状封闭材料的部分，并在该多条薄膜的各自的该基膜上形成与该基板分别对应的多个该密封状封闭材料的基板间处理机构部、按照由该基板运送构件从该前室运入的每个该基板，进行该基板的前端部和来自该基板间处理机构部的该薄膜的与该基板对应的该密封状封闭材料的前端的定位的校直机构部、将来自该校直机构部的该多条薄膜的与该基板对应的多个该密封状封闭材料向由该基板运送构件运送的该基板粘贴的粘贴机构部、从在来自该粘贴机构部的该基板上粘贴了该片状封闭材料的该多条薄膜分别剥取该基膜，并进行卷绕的基膜卷绕机构部构成；该基板运送构件将粘贴有在该基膜卷绕机构部被剥取了该多条薄膜的该基膜的多个片状封闭材料的状态下的该基板向该后室排出。...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：国弘立人，
申请(专利权)人：株式会社日立工业设备技术，
类型：发明
国别省市：JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。