【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种微机电设备制造方法,所述方法包括:在衬底上沉积第一导电层;对所述第一导电层构图,以暴露出所述衬底的一或更多个部分并且形成第一电触点和接触电极;在所述第一电触点、所述接触电极,以及所述衬底的一或更多个暴露部分上沉积第一牺牲层;对所述第一牺牲层构图以暴露出所述第一电触点;在所述第一牺牲层上方并且与所述第一电触点相接触地沉积第二导电层;在所述第二导电层上沉积绝缘层;对所述绝缘层构图以暴露出所述第二导电层的部分,以使得所述绝缘层的剩余部分与所述第二导电层接触所述第一电触点的位置横向间隔开;在所述第二导电层以及所述绝缘层的剩余部分上沉积加强层;对所述加强层和所述第二导电层进行构图以暴露出所述绝缘层的剩余部分;除去所述绝缘层的至少一些剩余部分;以及除去所述第一牺牲层。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:约瑟夫·达米安·戈登·拉西,
申请(专利权)人:卡文迪什动力有限公司,
类型:发明
国别省市:US
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