温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

这里所讨论的实施方式一般来讲公开了可用于克服在用于薄膜ＭＥＭＳ悬臂式开关的耐火材料中形成的梯度应力的新颖替代方法。使用这里所述的“分割层”悬臂制造方法使得能够制造薄膜ＭＥＭＳ悬臂式开关，在保持最终制造的悬臂式开关的着落部分的机械刚性的同时，...
该专利属于卡文迪什动力有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡文迪什动力有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。