【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种双环结构的微纳生物传感器，包括：一ＳＯＩ基片，该ＳＯＩ基片的顶层为顶层硅；一双环结构，该双环结构形成于ＳＯＩ基片的顶层硅上；一输入波导和一输出波导，该输入波导和输出波导位于双环结构的两侧，并形成于ＳＯＩ基片的顶层硅上；一Ｕ型微流通道，该Ｕ型微流通道扣置键合在双环结构上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：苏保青，王春霞，阚强，李俊华，解意洋，王真真，陈弘达，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11
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