涂覆方法及有机电致发光显示器的制造方法技术

本发明专利技术提供对于大面积基板中的每一批次尺寸误差或热膨胀造成的尺寸误差，能够高精度滴落的功能膜的涂覆方法。在通过对具有像素区域和配置在所述像素区域外侧的斥液部的基板，从喷嘴喷出墨液滴，而在所述像素区域形成功能膜的方法中，使墨液滴不仅落在所述像素区域，而且落在所述斥液部，并根据墨液滴落在所述斥液部的落点位置和墨液滴原本应落入的落点位置之差，校正墨从所述喷嘴喷出的喷出定时后，再进行涂覆。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种涂覆形成功能膜的方法、以及有机电致发光显示器(下面简称为 “有机EL (Electro Luminescence)显示器”)的制造方法
技术介绍
有机EL显示器根据有机发光层的形成方法，而可大致分为以下两种。一种是通过蒸镀形成有机发光层的方法，用于有机发光层由低分子有机材料组成的情况。另一种是通过溶剂涂覆法形成有机发光层的方法，不仅可以用于有机发光层为低分子有机材料的情况，还较多地用于由高分子有机材料组成的情况。通过溶液涂覆法形成有机发光层的代表性手段之一，存在如下方法利用喷墨装置，将包含有机发光材料的墨的液滴喷到显示器基板的像素区域，形成有机发光层(例如参照专利文献1)。此时，喷出的墨液滴中包含有机发光材料及溶剂。喷墨装置包含具有多个喷嘴的喷墨头，该喷墨装置控制喷墨头的喷嘴和基板的位置关系，同时从喷嘴喷出墨(例如参照专利文献2)。在专利文献2中，公开了滴落在基板的液滴等向地扩散，形成具有规定线宽的像素。另一方面，液滴所附着的显示器基板的像素区域多由称为隔提的隔壁规定。原因在于使喷出的墨选位性地滞留在像素区域。隔提既可以对每个像素区域分别划分，也可以规定行列状排列的同一颜色(例如R 红、G 绿、B 蓝)的多个像素区域(例如参照专利文献3)。有时将规定行列状排列的多个像素区域的隔提称为线状隔提。也就是说，线状隔提规定的每个区域(以下也称为“线区域”)形成了 R、G或B的有机发光层。然而，涂覆墨的像素区域的尺寸为40 μ m 60 μ m，如果不是高精度涂覆，则产生涂覆位置偏移。涂覆位置偏移造成与邻接的像素区域混色或膜厚不均勻。作为高精度地进行喷墨涂覆的方法，公开有如下方法事先从喷出液滴的全部喷嘴，进行墨测试涂覆，获得喷出图案，并测量墨液滴的落点位置，进行喷出位置校正(例如参照专利文献4)。利用图15对专利文献4进行说明。图15中表示微阵列制造装置90，该微阵列制造装置90包括摄像单元120、驱动控制单元110、基台50、托架(喷墨头)60、装载台70及墨盒80。在装载台70上装载多个作为涂覆对象的基板100。多个基板100中包含检查用基板。事先从微阵列制造装置90中的全部喷嘴中，将液滴喷到检查用基板，制成(描绘)喷出测试图案300，且测量喷出测试图案300的液滴落点位置，根据测量结果，校正喷出位置， 从而在基板100上制成微阵列。另外，作为高精度喷墨涂覆的方法，已知有如下方法在与涂覆对象不同的斥水性片材上形成落点位置偏移调整用图形，并读取所述图案，根据该读取结果，校正作为涂覆对象的基板的涂覆(参照专利文献5)。另外，作为高精度喷墨涂覆的方法，也已知有在作为涂覆对象的基板的涂覆区域旁边的非涂覆区域中预先配置对准标记(参照专利文献6及7)。接下来，利用相机辨识配置在基板上的对准标记，并根据对准标记位置算出涂覆位置，从而将墨涂覆到基板。专利文献1 (日本)特开2004-362818号公报专利文献2 (日本)特开2003-266669号公报专利文献3 (日本)特开2005-218918号公报专利文献4 (日本)特开2004-101218号公报专利文献5 (日本)特开2008-229917号公报专利文献6 (日本)特开2004-337725号公报专利文献7 (日本)特开2007-4175号公报在利用喷墨法将墨涂覆到涂覆对象时，墨液滴落在与预期位置不同的位置的原因可认为在于以下两点。第一个原因是由作为涂覆对象的涂覆基板引起，其原因在于每一批次中存在尺寸误差，或因热膨胀而产生尺寸误差。特别是作为涂覆对象的涂覆基板的涂覆面积越大，每一批次的尺寸误差或热膨胀所导致的尺寸误差越大。第二个原因是由喷墨装置本身引起，其原因在于基板或喷墨头的运送机构在使用时产生偏差，或者喷墨头的安装部在使用时因热膨胀而产生偏移。上述专利文献4及5的方法，是在对涂覆对象物涂覆墨之前，在检查区域制成喷出测试图案，或者在另外的检查片材中形成落点位置偏移调整用图案，并以这些图案为基准进行校正后，对涂覆对象物涂覆墨(正式涂覆)。也就是说，在正式涂覆前进行校正。因此， 专利文献4及5的方法，无法校正正式涂覆过程中产生的涂覆偏移。同样地，如专利文献6及7的方法所述，即使在基板设置对准标记，也无法校正作为涂覆对象的每个基板的偏移、或因涂覆装置的偏移造成的涂覆偏移。也就是说，如果基板的中心与对准标记之间的位置关系因基板的温度变化等而变动，或装置本身产生偏移，则无法校正涂覆偏移。事实上，如果需要对370mmX470mm的基板进行喷墨涂覆，则有时存在规定的涂覆位置和实际的涂覆位置偏移十几微米。可以预测，随着今后涂覆基板的大面积化，会产生更大的误差。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于为了解决上述以往的课题，而提供一种能够对因涂覆对象的基板的每一批次的尺寸误差或热膨胀造成的尺寸误差的涂覆偏移、或因喷墨装置本身的偏移导致的涂覆偏移都进行校正的喷墨涂覆方法。特别是，提供一种对每一批次的尺寸误差或热膨胀造成的尺寸误差变大的大面积基板也能够高精度涂覆的涂覆方法。本专利技术的第1方式的涂覆方法通过对具有多个像素区域及分别与所述像素区域邻接的斥液部的基板，从喷嘴喷出包含功能材料的墨液滴，从而在所述像素区域形成功能膜，其包括使所述墨液滴落在所述基板的第1像素区域、及与所述第1像素区域邻接的第1斥液部的步骤；求出所述墨液滴落在所述第1斥液部的落点位置与设定了的墨液滴的设定位置之差的步骤；以及根据所述差，校正墨从喷嘴喷出的喷出定时后，将墨液滴喷到所述基板的第2像素区域的步骤。根据这样构成的第1方式的涂覆方法，能够高精度地在像素区域涂覆墨。本专利技术的第2方式的涂覆方法是根据所述的涂覆方法，还包括拍摄包含落在所述第1斥液部的墨液滴和所述第1像素区域的图像的步骤，并根据所述拍摄图像求4所述差。本专利技术的第3方式的涂覆方法是根据所述的涂覆方法，所述第1像素区域是配置有一个或多个子像素的区域。本专利技术的第4方式的涂覆方法是根据所述的涂覆方法，所述第1像素区域是排列有多个子像素的线状区域，且涂覆相同的墨，所述第1斥液部与所述第1像素区域的长度方向的端部邻接。本专利技术的第5方式的涂覆方法是根据所述的涂覆方法，所述第1像素区域是排列有多个子像素的线状区域，且涂覆相同的墨，所述第1斥液部与所述第1像素区域的长度方向的两端部邻接，而且还包括如下步骤求墨液滴喷到所述第1斥液部中的一方斥液部的落点位置、与墨液滴喷到另一方斥液部的落点位置之差，并根据该差校正墨从喷嘴喷出的喷出定时。本专利技术的第6方式的涂覆方法是根据所述的涂覆方法，所述第1像素区域是排列有多个子像素的线状区域，且涂覆相同的墨，而且所述第1斥液部与所述第1像素区域的宽度方向的端部邻接。另外，本专利技术是一种有机EL显示器的制造方法，其通过对具有多个像素区域、及分别与所述像素区域邻接的斥液部的显示面板基板，从喷嘴喷出包含功能材料的墨液滴， 从而在所述像素区域形成有机功能膜而制造有机EL显示器，所述有机EL显示器的制造方法包括使所述墨液滴落在所述基板的第1像素区域及与所述第1像素区域邻接的斥液部的步骤；求出所述墨液滴落在所述第1斥液部的落点位置与设定了的墨液滴的设定位置之差的步骤；以及根据所述差，校正墨从喷嘴喷出的喷出定时后，将墨液滴喷到所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．涂覆方法，其通过对具有多个像素区域及分别与所述像素区域邻接的斥液部的基板，从喷嘴喷出包含功能材料的墨液滴，从而在所述像素区域形成功能膜，所述涂覆方法包括：使所述墨液滴落在所述基板的第１像素区域及与所述第１像素区域邻接的第１斥液部的步骤；求出所述墨液滴落在所述第１斥液部的落点位置和设定了的墨液滴的设定位置之差的步骤；以及根据所述差，校正墨从喷嘴喷出的喷出定时后，将墨液滴喷到所述基板的第２像素区域的步骤。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：铃木直树，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP