控制阀的驱动机构制造技术

本发明专利技术公开了一种控制阀的驱动机构。利用该控制阀的驱动机构，降低随着杆部件的摇动而产生的与活塞之间的摩擦阻力，确保能长期顺利地进行工作。调平阀V具有壳体(30)、收纳在该壳体(30)中的阀柱(32)以及与该阀柱(32)联动的活塞(31)，借助阀柱(32)的移动，调平阀V在使供气口(30b)和供排口(30a)连通的供气位置、使该供排口(30a)和排气口(30c)连通的排气位置以及在这两个位置的中间不进行供气和排气的中立位置之间进行切换。在活塞(31)的上端面形成凹部(31a)。调平阀V的驱动机构设置有杆部件(40)和工作销(44)。杆部件(40)的基端部转动自如地支撑在壳体(30)上，承受机器及平台(1)的载荷，沿活塞(31)的移动方向转动。工作销(44)绕着与杆部件(40)的转动轴平行的转动轴转动自如地支撑在该杆部件(40)的靠基端侧的部位，该工作销的顶端部收纳在凹部(31a)中且被该凹部支撑。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种控制阀的驱动机构，该控制阀与承受被支撑体的载荷的气弹簧相连接，在该控制阀上形成有用以进行供气和排气的供排口、用以供给来自压力源的气体的供气口以及用以将从所述气弹簧排出来的气体排出的排气口。
技术介绍
迄今为止，将例如光学仪器等不希望受到振动影响的精密仪器设置在平台上，利用多个空气弹簧进行弹性支撑的减振台已为人所知。用以使该平台保持水平且让高度维持一定的调整(水平调整)是通过向各个空气弹簧供给加压空气和从各个空气弹簧排出加压空气来实现的。也就是说，作为一个示例，如专利文献1、2所公开的那样，各个空气弹簧附带有根据其所支撑的平台高度切换着进行供气和排气的机械式调平阀。例如在专利文献1中，如该文献的图1所示，活塞19的上部从圆筒状阀主体7的上端突出出来，杆M的基端部经由支轴23被设置在阀主体7上端附近的支架22支撑着可自如地转动。固定在杆M的中途的工作销25的下端与活塞19的上端面抵接，另一方面固定在杆M的顶端部的抵接棒26(参照该文献的图幻的上端与减振台的下表面抵接。若例如伴随仪器工作，任一空气弹簧2所承受的分担载荷增大，其所支撑的支撑高度下降的话，杆M就会朝下转动，活塞19便被向下推压，由此阀体(开关阀16)移动，加压空气被供向压力容器3。相反地若支撑高度上升，杆M便会抬升，空气就从空气弹簧2的压力容器3中被排出去。通过这样反复地进行供气和排气，由空气弹簧所支撑的平台的支撑高度就能维持一定。专利文献1 日本技术专利公告公报实公平8-7157号公报专利文献2 日本技术专利注册第3116309号公报专利技术所要解决的技术问题近年来，伴随作为重载荷的加工对象物的移动，安装有载物台的装置也被置于减振台上，为适应空气弹簧分担载荷的急剧变化，调平阀的工作频率提高，活塞的工作量也有增大的趋势。为了针对上述很大的载荷变动迅速地进行供气和排气，而不得不增大活塞的工作量。不过，若如上所述活塞的工作量增加，就会像例如专利文献1中的图2至图4所示的那样，杆部件M的转动角度增大，工作销25就像挖活塞19的上端面那样大幅度地进行滑动，因此无法避免摩擦阻力增大的问题。由于上述工作销25滑动而导致活塞19的上端面产生磨损，若该磨损产生的粉末夹在工作销25和活塞19之间，摩擦阻力便会骤然增大，就会妨碍活塞19顺利工作。如果长时间使用而导致磨损程度加深，工作销25的下端就会受到活塞19上端面的阻碍，而有可能引起工作不良
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述各点而完成的，其目的在于利用与承受被支撑体的载荷的气弹簧相连接并形成有用以进行供气和排气的供排口、用以供给来自压力源的气体的供气口以及用以将从所述气弹簧排出来的气体排出的排气口的控制阀的驱动机构，降低随着杆部件的摇动(转动)而产生的与活塞之间的摩擦阻力，确保能长期顺利地进行工作。用以解决技术问题的技术方案第一方面的专利技术涉及一种控制阀的驱动机构。该控制阀与承受被支撑体的载荷的气弹簧相连接，在该控制阀上形成有用以进行供气和排气的供排口、用以供给来自压力源的气体的供气口以及用以将从所述气弹簧排出来的气体排出的排气口。其特征在于所述控制阀具有壳体、从该壳体突出来的活塞以及收纳在该壳体中与所述活塞联动的阀体，借助该阀体的移动，该控制阀在使所述供气口和供排口连通的供气位置、使该供排口和排气口连通的排气位置以及在这两个位置的中间不进行供气和排气的中立位置之间进行切换。 在所述活塞的突出侧的端面形成有凹部。该控制阀的驱动机构包括杆部件和销部件。该杆部件的基端部转动自如地支撑在所述壳体上，承受所述被支撑体的载荷，沿所述活塞的移动方向转动。该销部件绕着与所述杆部件的转动轴平行的转动轴转动自如地支撑在该杆部件的靠基端侧的部位，该销部件的顶端部收纳在所述凹部中且被该凹部支撑。根据上述结构，当来自被支撑体的载荷增大气弹簧受到压缩，或者相反地载荷减小气弹簧伸长时，杆部件就与之相应地绕着其基端部转动，让活塞进行与现有装置相同的工作。由于该活塞工作而使阀体移动，从而进行向气弹簧供给气体的供气和从气弹簧排出气体的排气。在进行上述转动的杆部件的靠基端侧的部位，设置有被支撑着绕与杆部件的转动轴平行的转动轴自如转动的销部件，该销部件的顶端部收纳在形成于活塞突出侧端面的凹部中且被该凹部支撑。该销部件边维持顶端部收纳在活塞的凹部中且被该凹部支撑的状态边水平地转动。因此，其摩擦阻力与现有装置相比大幅度减小，得以顺利地进行工作。而且， 滑动所引起的磨损大幅度降低，即便长期使用也不用担心引起工作不良。第二方面的专利技术是这样的，在所述第一方面的专利技术所涉及的控制阀的驱动机构中，其特征在于所述控制阀设置为所述活塞及阀体沿上下方向移动，该控制阀的驱动机构设定为在所述控制阀位于中立位置时，所述杆部件的转动轴和所述销部件的转动轴位于同一高度。这样一来，在几何学上，销部件随着杆部件转动在活塞的凹部内面上滑动的滑动量减小，这对于减小摩擦阻力和降低磨损是很有利的。也就是说，这是因为若在控制阀位于中立位置时杆部件的转动轴和销部件的转动轴位于同一高度，则当杆部件上下转动，销部件进行水平转动的时候，相对于其上下转动的转动量来说，在水平方向上的位移量、即销部件在活塞的凹部内面上进行滑动的滑动量减小。专利技术的效果根据本专利技术，在进行转动的杆部件的靠基端侧的部位，设置有被支撑着绕与杆部件的转动轴平行的转动轴自如转动的销部件，该销部件的顶端部收纳在形成于活塞突出侧端面的凹部中且被该凹部支撑。该销部件边维持顶端部收纳在活塞的凹部中且被该凹部支撑的状态边水平地转动。因此，其摩擦阻力与现有装置相比大幅度减小，得以顺利地进行工作。而且，滑动所引起的磨损大幅度降低，即便长期使用也不用担心引起工作不良。 附图说明图1是本专利技术的实施方式所涉及的空气弹簧及调平阀的主视图；图2是调平阀的驱动机构的俯视图；图3是表示工作销被杆部件支撑的支撑结构的剖视图；图4是放大地示出调平阀的活塞的工作结构的主视图；图5是表示调平阀的活塞凹部的变形例的剖视图；图6是表示调平阀的活塞凹部的其它变形例的剖视图。附图标记说明V调平阀(控制阀)1平台(被支撑体)2空气弹簧(气弹簧)30壳体30a供排口30b供气口30c排气口31活塞31a凹部32阀柱(阀体)4驱动机构40杆部件44工作销(销部件)χ杆部件的转动轴y工作销的转动轴具体实施例方式下面，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细的说明。图1至图4表示的是本专利技术的实施方式所涉及的调平阀V (控制阀)，该调平阀V 在通常用三个以上的空气弹簧2 (气弹簧)对载有例如与液晶相关的制造装置等机器(无图示)的平台1进行弹性支撑的减振台中，对各个空气弹簧2进行供气或者从各个空气弹簧2进行排气，以确保作为被支撑体的机器和平台1的高度大致保持一定。如图1中的示例所示的那样，空气弹簧2在整体呈四棱柱状的箱体20的上壁设置截面为圆形的开口部20a，将较厚的圆板状活塞21插入该开口部20a中，并且设置由橡胶弹性膜形成的环状隔膜22，该隔膜22将从该活塞21的外周到箱体20的开口部周缘为止的部分封堵住，利用该隔膜22保持活塞21，同时在箱体20的内部形成了空气室。隔膜22的外周部由箱体20的上壁和其上的连接环23夹住。在这样形成于箱体20内的空气室中，在规定的高压状本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种控制阀的驱动机构，该控制阀与承受被支撑体的载荷的气弹簧相连接，在该控制阀上形成有用以进行供气和排气的供排口、用以供给来自压力源的气体的供气口以及用以将从所述气弹簧排出来的气体排出的排气口，其特征在于：所述控制阀具有壳体、从该壳体突出来的活塞以及收纳在该壳体中与所述活塞联动的阀体，借助该阀体的移动，该控制阀在使所述供气口和供排口连通的供气位置、使该供排口和排气口连通的排气位置以及在这两个位置的中间不进行供气和排气的中立位置之间进行切换，在所述活塞的突出侧的端面形成有凹部，该控制阀的驱动机构包括：杆部件，该杆部件的基端部转动自如地支撑在所述壳体上，承受所述被支撑体的载荷，沿所述活塞的移动方向转动，以及销部件，绕着与所述杆部件的转动轴平行的转动轴转动自如地支撑在该杆部件的靠基端侧的部位，该销部件的顶端部收纳在所述凹部中且被该凹部支撑。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：和泉孝司，吉田幸司，川原勇，
申请(专利权)人：仓敷化工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP