取像器防护装置制造方法及图纸

技术编号:7107207 阅读:360 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术是一种取像器防护装置,其于具至少一取像器的机架上装配有承置件,该承置件上设有驱动源,驱动源并以第一枢轴枢接一连动件,连动件以至少一第二枢轴枢接于至少一位于取像器侧方的遮板的一侧,遮板再以第三枢轴枢设于承置件上,当驱动源带动连动件作线性位移时,连动件可带动遮板同步旋转,使遮板摆动至相对应的取像器下方,用来遮蔽取像器而防止喷溅到异物;如此,可视取像器的数量而易于增设相对数量的遮板,并利用一驱动源驱动遮板同步旋转摆动而遮蔽取像器,达到易于增设遮板及节省成本的实用效益。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及具有取像器的设备,特别涉及晶圆切割机与液晶面板磨边倒角机,具体涉及这些设备上的取像器防护装置
技术介绍
取像器(例如CCD)已广泛应用于不同设备(如晶圆切割机或液晶面板磨边倒角机等),用来撷取元件的影像,然而,部分具有取像器的设备在加工作业时,其加工刀具会因磨擦工件而产生高温,为防止加工刀具损坏,即会对加工刀具喷洒冷却液而降温冷却,但冷却液或切屑等易随加工刀具的旋转而向外飞散喷溅至取像器的镜头上,以致影响取像器的取像品质,因此,业者必须于设备上装配一可遮蔽取像器的镜头的防护装置,以防止镜头被喷溅到冷却液或切屑,而确保取像器的取像品质。请参阅图1,以具有取像器的晶圆切割机为例,其设有旋转台、切割装置、取像装置及防护装置,该旋转台11承置待切割的晶圆12,该切割装置设有一可切割晶圆12的圆盘刀具13,并在圆盘刀具13上方的刀具护盖14上装配有两个可喷洒冷却液的喷管15,使喷管15对圆盘刀具13喷洒冷却液,该取像装置位于切割装置的侧方,并在机架16上装配有可撷取晶圆12影像的取像器17,另于机架16上装配有防护装置,该防护装置于相对应取像器17的位置设有一压缸18,并在压缸18的活塞杆前端设有遮板19,再者,该取像装置的机架16连结切割装置的刀具护盖14,使切割装置与取像装置可同步位移,并通过中央控制器 (图未示出)的轴向控制,使切割装置、取像装置及旋转台11相互搭配作χ-γ-ζ轴向的相对位移,以便进行聚焦、取像及切割作业,于执行聚焦、取像晶圆12作业时,防护装置控制压缸18的活塞杆带动遮板19向后位移,使遮板19离开取像器17的下方,以供取像器17对旋转台11上的晶圆12进行聚焦、取像作业;请参阅图2,于聚焦、取像作业完毕后,切割装置的圆盘刀具13即切割旋转台11上的晶圆12,并以喷管15对圆盘刀具13喷洒冷却液,由于冷却液或切屑等会随圆盘刀具13的旋转而向外飞散,为防止冷却液或切屑喷溅至取像器17的镜头上,该防护装置即控制压缸18的活塞杆带动遮板19向前位移,使遮板19遮蔽取像器17的镜头,以防止镜头被喷溅到冷却液或切屑,而确保取像器17的取像品质;然而, 此一防护装置的压缸18仅可带动连结于活塞杆前端的单一遮板19向前位移,用来遮蔽取像器17的镜头,导致如欲增设复数个取像器17时,即必须在有限的空间内扩大压缸18的行程,或另外装配相对应数量的压缸18,方可利用压缸18带动连结的遮板19遮蔽相对应的取像器17,不仅在有限的空间上不易配置,且如装配相对应数量的压缸18也会造成装配作业繁琐耗时,而增加设备成本,导致不易增设遮板的缺失。因此,如何设计一种可易于增设遮板,并节省成本的防护装置,即为业者研发的标的。
技术实现思路
本技术的目的在于,提供一种取像器防护装置,可易于增设遮板,并节省成本。为实现上述目的,本技术采用的技术方案是—种取像器防护装置,装配于取像器侧方的机架上,其特征在于在机架上设有承置件,用来承置驱动源,该驱动源枢接有连动件,该连动件则枢接于相对应取像器数量的遮板的一侧,遮板再枢接于承置件上。其中该承置件是外罩,并在外罩的底板上开设有相对应取像器数量的通孔。其中该驱动源是压缸,压缸的活塞杆前端并以第一枢轴枢接连动件,连动件以第二枢轴枢接于遮板的一侧,遮板再以第三枢轴枢接于外罩的底板上。其中该压缸的后端开设有穿孔,并在该压缸下方设有一个具有通孔的垫块,在外罩的底板上开设有定位孔,一定位件穿置压缸的穿孔及垫块的通孔,并组装于外罩的定位孔,而将压缸及垫块定位于外罩的底板上。其中该外罩的定位孔是螺孔,而定位件是螺栓。其中;该压缸在活塞杆的前端设有具有枢孔的块体,在连动件上开设有轴孔,第一枢轴穿置压缸的枢孔及连动件的轴孔,用来枢接压缸及连动件。其中该连动件开设有枢孔,遮板设有具有轴孔的连接部,第二枢轴穿置于连动件的枢孔及遮板的轴孔,用来枢接遮板及连动件。其中该遮板开设有枢孔,外罩于底板上相对应遮板的枢孔位置开设有轴孔,第三枢轴穿置遮板的枢孔及外罩的轴孔,用来枢接遮板及承置件。与现有技术相比较,采用上述技术方案的本技术具有的优点在于1.本技术可视取像器的数量而易于增设相对数量的遮板,并利用一驱动源驱动遮板同步旋转摆动而遮蔽取像器,达到易于增设遮板的实用效益。2.本技术仅需于承置件上装配一驱动源,并使驱动源经连动件而带动复数个遮板同步作动遮蔽取像器的镜头,毋须繁琐配置复数个压缸,达到易于组装的实用效益。3.本技术仅需于承置件上装配一驱动源,并使驱动源经连动件而带动复数个遮板同步作动遮蔽取像器的镜头,毋须视取像器数量而配置相对应数量的压缸,达到节省成本的实用效益。附图说明图1是现有晶圆切割机取像器的防护装置示意图;图2是现有防护装置的使用示意图;图3是本技术的零件分解图;图4是本技术的外观图;图5是本技术应用于晶圆切割机的示意图;图6是本技术防护装置的使用示意图(一);图7是本技术防护装置的使用示意图(二);图8是本技术防护装置的使用示意图(三)。附图标记说明旋转台11 ;晶圆12 ;圆盘刀具13 ;刀具护盖14 ;喷管15 ;机架16 ; 取像器17 ;压缸18 ;遮板19 ;防护装置30 ;外罩31 ;底板311 ;通孔312、313 ;螺孔314 ;轴孔 315,316 ;压缸32 ;穿孔321 ;活塞杆322 ;块体323 ;枢孔324 ;垫块33 ;通孔331 ;螺栓34 ;第一枢轴35 ;连动件36 ;轴孔361 ;枢孔362、363 ;第二枢轴37A、37B ;遮板38A、38B ;连接部 381A、381B ;轴孔382A、382B ;枢孔383A、383B ;第三枢轴39A、39B ;旋转台40 ;切割装置50 ; 圆盘刀具51 ;刀具护盖52 ;喷管53 ;取像装置60 ;机架61 ;取像器62、63 ;晶圆70。具体实施方式为对本技术有更进一步的描述,兹举一较佳实施例并配合图式,详述如后请参阅图3、图4,本技术的防护装置30包含有承置件、驱动源、连动件及至少一遮板,该承置件可为一架体或外罩,用来承置驱动源及至少一遮板,并开设有相对应取像器数量的通孔,在本实施例中,该承置件是一外罩31,并在外罩31的底板311上开设有两个通孔312、313,该驱动源枢接连动件,在本实施例中,该驱动源是压缸32,并在压缸32的下方装配有垫块33,一定位件将压缸32及垫块33定位于承置件31上,在本实施例中,该压缸32的后端开设有穿孔321,并在下方设有一具有通孔331的垫块33,另在外罩31的底板 311上开设有一为螺孔314的定位孔,一为螺栓34的定位件,穿置压缸32的穿孔321及垫块33的通孔331,并螺合于外罩31的螺孔314,而将压缸32及垫块33锁固定位于外罩31 的底板311上,又该压缸32的活塞杆322以第一枢轴35枢接有连动件36,在本实施例中, 于压缸32的活塞杆322前端设有一具有枢孔3M的块体323,而连动件36于中间位置开设有轴孔361,一第一枢轴35穿置压缸32的枢孔3M及连动件36的轴孔361,用来枢接连动件36及压缸32,使压缸32带动连动件36作线性位移,连动件36并以第一枢轴35为轴心而旋本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种取像器防护装置,装配于取像器侧方的机架上,其特征在于:在机架上设有承置件,用来承置驱动源,该驱动源枢接有连动件,该连动件则枢接于相对应取像器数量的遮板的一侧,遮板再枢接于承置件上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘东波
申请(专利权)人:承澔科技股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:71

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