柔性基底的压电能量采集器及制备方法技术

技术编号:7084041 阅读:216 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种微机电系统技术领域的柔性基底的压电能量采集器及制备方法,该采集器包括:硅固定基座、聚对二甲苯基压电薄膜层和质量块,所述聚对二甲苯基压电薄膜层一端固定在硅固定基座上,另一端悬空并与质量块固定连接。聚对二甲苯基压电薄膜层由聚对二甲苯层及附于聚对二甲苯层上的压电薄膜层,压电薄膜层表面覆盖电极层。与现有的硅基MEMS压电能量采集器相比,其能有效提高器件的尖端位移,进而提高器件的输出特性,具有转换效率高等特点。该器件不但结构简单,制作容易,体积减小,并且它可运行于低频环境中,可有效地克服MEMS压电能量采集器输出功率较低的问题。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1. 一种柔性基底的压电能量采集器,其特征在于,包括:硅固定基座、聚对二甲苯基压电薄膜层和质量块,所述聚对二甲苯基压电薄膜层一端固定在硅固定基座上,另一端悬空并与质量块固定连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨斌唐刚刘景全杨春生李以贵
申请(专利权)人:上海交通大学
类型:发明
国别省市:31

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1