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本发明涉及一种微机电系统技术领域的柔性基底的压电能量采集器及制备方法，该采集器包括：硅固定基座、聚对二甲苯基压电薄膜层和质量块，所述聚对二甲苯基压电薄膜层一端固定在硅固定基座上，另一端悬空并与质量块固定连接。聚对二甲苯基压电薄膜层由聚对二甲...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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