【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及的是一种微机电系统
的装置及方法，具体是一种压电叠堆式 MEMS振动能量采集器及其制备方法。
技术介绍
近年来，随着无线通讯与MEMS (微机电系统)技术的不断进步，使得微电子设备和微传感器等微型系统应用范围不断扩大。由大量无处不在的、具有通信与计算能力的微小传感器节点，以无线通信的方式构成，并能够根据环境需求自主完成指定任务的无线传感器网络在军事、工业、家居、环境等诸多领域有着广泛的应用前景。当前，在无线传感节点等微器件的电能供给上，依然采取着传统的供能方式，即利用电池作为主要的能量供应装置。然而，由于无线传感器网络节点一般是静止不动的，随着网络分布的广泛，构成无线传感网络的微器件数目越来越庞大，而且有些微器件的工作位置处在野外恶劣环境中，难以再触及，显然，电池供电方式越来越难于满足要求。因此，为了延长电池寿命和减少电子元件体积，人们开始致力于从电子元件周围环境中吸取能量并转化为电能方法来代替电池对无线传感器等微器件进行永久供电的研究。目前，环境振动能量采集技术是解决以上问题的有效方法。以压电材料的压电效应作为换能基础设计制作的微型压电发电...
【技术保护点】
１．一种压电叠堆式ＭＥＭＳ振动能量采集器，包括：硅固定基座、压电叠堆片和质量块，其特征在于：压电叠堆片的一端固定在硅固定基座上且另一端悬空并与质量块固定连接。
【技术特征摘要】
1.一种压电叠堆式MEMS振动能量采集器，包括硅固定基座、压电叠堆片和质量块，其特征在于压电叠堆片的一端固定在硅固定基座上且另一端悬空并与质量块固定连接。2.根据权利要求1所述的压电叠堆式MEMS振动能量采集器，其特征是，所述的硅固定基座由硅片及设置于硅片两侧的二氧化硅层构成。3.根据权利要求1所述的压电叠堆式MEMS振动能量采集器，其特征是，所述的压电叠堆片和质量块具体通过环氧树脂实现粘贴。4.根据权利要求1所述的压电叠堆式MEMS振动能量采集器，其特征是，所述的质量块为镍金属块或钨金属块。5.根据权利要求1所述的压电叠堆式MEMS振动能量采集器，其特征是，所述的压电叠堆片包括基片以及附于基片上的压电薄膜层和电极层，其中压电薄膜层为两层或以上， 电极层覆盖于每一层压电薄膜层的上、下表面，压电薄膜层和电极层之间由环氧树脂胶层实现机械串联方式粘贴，相邻的压电薄膜层的极化方向相反且为并联电连接。6.根据权利要求1所述的压电叠堆式MEMS振动能量采集器，其特征是，所述的基片是指电镀于硅固定基座表面的金属层。7.根据权利要求1所述的压电叠堆...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘景全，唐刚，李以贵，杨春生，柳和生，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31
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