使用非平衡等离子体的气体处理方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种气体处理方法，其中在由表面放电电极产生的非平衡等离子体区域中布置包括光催化剂、固态物质和催化剂的多个光催化剂构件，将例如废气的作业气体和包括有害化学物质的有害气体引入该区域，然后进行分解。该表面放电电极包括一接地电极、一包围接地电极的绝缘体和多个经由绝缘体相对接地电极布置的表面电极，通过其起电作用产生非平衡等离子体。通过布置多个表面放电电极，每个电极在厚度方向具有多个从中穿过的通孔，在电极之间布置多个光催化剂构件来构成气体处理装置。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种气体处理方法，在该方法中一处理气体被引入到一包括多个光催化剂构件的非平衡等离子体中，所述多个光催化剂构件的每一个均包括光催化剂、固态物质和催化剂，所述处理气体通过所述非平衡等离子体被分解。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：室井国昌，尾形敦，
申请(专利权)人：雅马哈株式会社，独立行政法人产业技术总合研究所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]