【技术实现步骤摘要】
本专利技术所涉及的是一种粉体捕集器。
技术介绍
随着工业的进步,半导体业日渐增加,而半导体的制造过程中,会产生具有毒粉体的热废气,若无有效的过滤粉体,而将的排放至空气中,对环境及人体均是一大伤害,而一般用以捕集粉体的机具,请参阅图1、图2所示,主要是设有一箱体1,在箱体1外侧壁的下方设有入风口10,箱体1的上方设有出风口11,在箱体1内部的上、下方接设有曲折的冷却管12连通,箱体1的底部设有入水口13与下部冷却管12的一端连接,箱体1的顶部设有出水口14与上部冷却管12的另一端连接,在箱体1内中间部位的二侧壁及冷却管12间设有数个插槽15,在该等插槽15内插设有滤网16,滤网16上设有透孔17,而各层滤网16的透孔17是交错设置;由入风口10将热废气送入箱体1内,而热废气经由各滤网16的透孔17,由左至右、由下至上,最后由出气口11排出,另将水由箱体1下方的入水口13注入冷却管12内,由下方的冷却管12经由上方的冷却管12,再由出水口14排出,藉由冷却管12内的水流,使箱体1内的热废气冷却,而热废气中的粉体受冷却则下沉并附着在滤网16上,可将热废气过滤;然,习 ...
【技术保护点】
一种粉体捕集器,其特征在于:在箱体一侧壁设有入风口与出风口,箱体内部的二侧壁相对设有若干挡条,在箱体内部的中间设有固定板,所述的固定板上设有通孔,箱体内设有多排螺旋回绕状的冷却管,冷却管的一端为入口,另一端为出口,在所述的箱体的背面凸设有二容室,在一容室设有进水管,另一容室设有排水管;箱体内设有数片隔板,隔板的二侧边是设在箱体内的挡条上,隔板的前边缘折设有拉片,隔板近侧边设有交错设置的通孔,在隔板上设有若干导流片,在箱体前方设有垫片,盖体由固接组件锁固在箱体上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:林金献,
申请(专利权)人:新剀企业有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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