【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于表面工程、功能结构精密制造
，具体是一种基于相干激光的表面微结构成形系统。
技术介绍
周期性微结构表面在不同领域具有多种表面功用，譬如在表面反应、表面传热应用中，表面状况很大程度上决定着技术的先进性。生物工艺学上，移植整合的效果很大程度上取决于周期性微结构表面的周期频率，此外微型表面结构对细胞的行为也有很大的影响。层状纹理还能提高表层的疏水性，把微结构硅被加入到光感应器中还能提高光感应器的光谱感应范围。特定的表面微纳米结构还能实现材料的某些超强性能(如超强的光学吸收效率，超亲水性，超疏水性，超强的电磁辐射，超强的黏附脱附力等)，这在新能源、高效能源转化、微机电系统、微流控系统、表面激元器件、日常生活、催化、医学、国家安全和制药等领域有着丰富的潜在应用。因此微结构表面制备技术越来越重要。从工艺技术上看，表面微纳米结构的制备技术的类型有多种，比如平面工艺、模型工艺等。平面工艺，依赖于光刻技术，需要对光敏物质进行曝光，基质的成本提高，适用性降低，受光学衍射极限等限制，尺寸的精度受多种条件的影响，难以控制误差，光学光刻掩膜和使用光学成像设备的成本很高...
【技术保护点】
１．一种基于相干激光的表面微结构成形系统，其特征在于，包括依次光路设置的激光发生器、光束整形模块、第一半反射镜、第二全反射镜，在第一半反射镜和第二全反射镜的下面设置有电控移动工作台，电控移动工作台用于放置基质，所述第一半反射镜和第二全反射镜设置有伺服电机，所述电控移动工作台、伺服电机和激光发生器与计算机连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄延禄，杨彦哲，汤勇，杨永强，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：81
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