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一种基于相干激光的表面微结构成形系统技术方案
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文档序号:7063362
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本发明公开了一种基于相干激光的表面微结构成形系统,包括依次光路连接的激光发生器、光束整形模块、第一半反射镜、第二全反射镜,在第一半反射镜和第二全反射镜的下面设置有电控移动工作台,电控移动工作台用于放置基质,所述第一半反射镜和第二全反射镜设置...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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