本发明专利技术提供一种连续扩散处理装置，在输送被处理件时，能够抑制对该被处理件的处理质量造成坏影响的粉尘的产生。所述连续扩散处理装置包括：输送台(50)，装载多张板状的被处理件(W)；筒形的加热炉(1)，从送入输送台(50)的送入部向送出该输送台(50)的送出部以直线状延伸；输送装置(2)，将输送台(50)向加热炉(1)内依次送入，并将已在加热炉(1)内输送的输送台(50)依次送出；加热装置(3)，对通过加热炉(1)内的输送台(50)上装载的被处理件(W)进行加热；以及供气装置(41)，向加热炉(1)内提供用于扩散处理的气体。输送台(50)具有利用滚动轴承(60)在加热炉(1)的底面上滚动的车轮部(52)。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种连续扩散处理装置。
技术介绍
例如，在利用结晶硅的太阳能电池单元制造过程中，需要进行扩散处理，S卩，使由规定元素构成的杂质附着在硅制的被处理件(晶片)的表面，并使该杂质扩散到被处理件的内部。作为进行所述扩散处理的扩散处理装置，例如有批处理式的。该批处理式装置具备加热被处理件的加热炉，该加热炉的大小只是能够容纳装载多个被处理件的托盘。在将被处理件送入该加热炉中后，向该加热炉内提供含有杂质的气体，并提高加热炉内温度，使杂质扩散到被处理件的内部。之后，在加热炉内降温后，将被处理件从加热炉取出。在使用所述批处理式加热炉的情况下，虽然希望能够提高处理质量，但实际上在加热炉内进行扩散处理的时间前后，必须要有将炉内温度提高到规定温度的时间和将炉内温度降低的时间，因此不能连续处理被处理件，从而难以提高生产效率。所以，如专利文献1所公开的连续扩散处理装置包括筒状的加热炉；输送器，排列被处理件并在加热炉内输送被处理件；加热装置，对通过加热炉内的被处理件进行加热； 以及供给装置，向加热炉内提供含有杂质的气体。所述输送器具有陶瓷制的环状链条，该环状链条的行进的通路是边在设置于加热炉内的轨道上滑动，边通过加热炉内。装载有被处理件的输送台被放置在所述行进的通路上，利用该环状链条转动，使该被处理件通过加热炉内，对该被处理件连续进行扩散処理。专利文献1 日本专利公开公报特开平9498163号按照专利文献1所记载的装置，能够对被处理件连续进行处理，从而可以提高生产效率。但是，在输送被处理件时，由于在加热炉内链条在轨道上滑动，所以因磨损从链条和轨道中的一方或双方产生粉尘，有可能对扩散处理的被处理件的质量产生坏影响。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种连续扩散处理装置，该连续扩散处理装置在输送被处理件时，能够抑制对该被处理件的处理质量造成坏影响的粉尘的产生。本专利技术的连续扩散处理装置包括输送台，装载多张处于垂直立起状态的板状的被处理件；筒状的加热炉，从送入所述输送台的送入部到送出所述输送台的送出部以直线状延伸；输送装置，将所述输送台从所述送入部向所述加热炉内依次送入，并将已在所述加热炉内输送的所述输送台从所述送出部依次送出；加热装置，对通过所述加热炉内的所述输送台上装载的所述被处理件进行加热；以及供气装置，向所述加热炉内提供用于扩散处理的气体，所述输送台具有车轮部，所述车轮部利用滚动轴承在所述加热炉的底面上滚动。按照本专利技术，由于输送台具有利用滚动轴承在加热炉的底面上滚动的车轮部，所以与伴有滑动的以往的结构相比，能够抑制因在加热炉内的磨损而产生粉尘。此外，连续扩散处理装置还包括排气结构部，所述排气结构部设置在所述加热炉底部，且在内部具有将所述加热炉内的气体向所述加热炉外导出的排气流路，所述排气结构部沿所述输送台的输送方向呈直线配置，并沿所述输送方向弓丨导由所述输送装置输送的输送台。在这种情况下，把向外部排出加热炉内的气体的排气结构部兼作向输送方向引导输送台的引导装置。此外，在这种情况下优选的是，所述输送台具有主体部，位于所述排气结构部的上方，装载所述被处理件；以及导向块，安装在所述主体部的左右两侧，并配置成与所述排气结构部的左右两侧之间具有间隙。在这种情况下，输送台成为跨立在排气结构部上的状态，被排气结构部沿输送方向引导。此外优选的是，所述输送台具有间隔件，当在所述加热炉内输送的状态下，所述间隔件填补在所述输送台上装载的被处理件和与其相邻的输送台上装载的被处理件之间。多个输送台成列地通过加热炉内，如果在相邻的输送台上分别装载的被处理件之间存在有较大的间隙，则在输送台的端部产生气流的紊流，有可能导致在输送台端部一侧的被处理件和在中央部位的被处理件之间处理质量产生波动，但利用所述间隔件可以防止气流的紊流，能够使处理质量均一化。此外优选的是，所述输送台具有刷子，所述刷子安装在所述输送台的下部，与所述加热炉底面接触。在这种情况下，如果输送输送台，则可以将堆积在加热炉底面上的异物清扫到加热炉外。此外优选的是，所述车轮部包括车轮轴，从所述输送台的主体部向左右方向外侧突出；内轮，安装在所述车轮轴上，在外周面上具有呈凹曲面的内滚动面；外轮，设置在所述内轮的直径方向外侧，在内表面上具有外滚动面；以及滚动件，介于所述内轮和所述外轮之间，并在所述内滚动面和所述外滚动面上滚动，所述外轮左右方向的一侧的肩部的内径与所述外滚动面的内径基本相同或比所述外滚动面的内径大。由此，成为车轮部在加热炉底面上滚动的结构。此外，虽然也可以在外轮的外周上还设置在加热炉底面上滚动的环形构件，但是也可以把外轮用作在加热炉的底面上滚动的构件。由于输送台通过高温的加热炉内，所以优选的是除了输送台主体部以外，车轮部也采用玻璃或陶瓷那样的耐热性高的材质，在这种情况下，该材质一般来说线膨胀系数较小。其中，例如在常温环境下使用的一般的深槽滚动轴承，使用钢材，利用热膨胀能够组装滚动轴承。但由上述线膨胀系数小的材质制成的滚动轴承难以与滚动件进行组装，不过按照所述结构，将滚动件装入内轮与外轮之间的作业则变得简单。按照本专利技术，在输送装载在输送台上的被处理件时，能够抑制对该被处理件的处理质量造成坏影响的粉尘的产生。附图说明图1是连续扩散处理装置的立体图。图2是输送台的立体图。图3是说明加热炉、输送装置以及加热装置的纵向剖视图。图4是输送装置的说明图。图5是输送装置的说明图。图6是连续扩散处理装置的横剖视图。图7是用于加热炉内的加热炉的横剖视图。图8是隔壁构件的立体图。图9是排气装置的说明图。图10是表示加热炉的底部的说明图。图11是输送台的车轮部的说明图。图12是装载在输送台上的间隔件的说明图。附图标记说明1 加热炉，2 输送装置，3 加热装置，11 送入部，12 送出部，41 供气装置，45 排气结构部，46 排气流路，50 输送台，51 主体部，52 车轮部，53 导向块，53a 中央部， 54 间隔件，55 刷子，56 车轮轴，56a 孔，57 内轮，57a 内滚动面，58 外轮，58a 外滚动面，58b 内侧的肩部，58c 外侧的肩部，59 滚珠，60 滚动轴承，W 被处理件具体实施例方式以下根据附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是本专利技术的连续扩散处理装置的立体图。所述连续扩散处理装置用于对被处理件进行扩散处理。例如，所述连续扩散处理装置用于在利用结晶硅的太阳能电池单元制造过程中，使由规定元素构成的杂质附着在硅制的晶片(被处理件)表面，并使所述杂质扩散到所述晶片的内部。在图1中省略了对被处理件的记述。连续扩散处理装置包括输送台50，放置多张板状的被处理件；筒状的加热炉1 ； 输送装置2，输送多个输送台50 ；加热装置3，具有将加热炉1内加热的加热器30 ；给排气装置4，向加热炉1内提供气体以及排出所述加热炉1内的气体。另外，连续扩散处理装置具备控制输送装置2等各装置的控制装置5。加热炉1的长边方向(在图1中为左右方向) 与输送台50被输送的方向一致，把该方向称为前后方向。此外，有时也将与输送台50被输送的方向垂直的水平方向称为左右方向。图2是输送台50的立体图。输送台50具备主体部51，以等间隔垂直立起的状态装载多张板状的被处理件W ；车轮部52，安装于本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种连续扩散处理装置，其特征在于包括：输送台，装载多张处于垂直立起状态的板状的被处理件；筒状的加热炉，从送入所述输送台的送入部到送出所述输送台的送出部以直线状延伸；输送装置，将所述输送台从所述送入部向所述加热炉内依次送入，并将已在所述加热炉内输送的所述输送台从所述送出部依次送出；加热装置，对通过所述加热炉内的所述输送台上装载的所述被处理件进行加热；以及供气装置，向所述加热炉内提供用于扩散处理的气体，所述输送台具有车轮部，所述车轮部利用滚动轴承在所述加热炉的底面上滚动。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：森川清彦，笠次克尚，西村圭介，芦田忍，
申请(专利权)人：光洋热系统株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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