基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法及其装置制造方法及图纸

技术编号:6992641 阅读:287 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开一种基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法及其装置,属于微细电化学加工领域。本发明专利技术所述的方法是首先把阳极与阴极芯模放置在电铸槽内,之后向电铸槽内加电铸液、阴阳极接通电源,当芯模上电铸层达到规定厚度之后断电,停止供液与电铸,取出芯模脱模去胶,电铸过程中,芯模外叠加有与阴阳极间电流方向垂直的磁场。实施上述方法所需要的装置,包括电铸系统、电铸液温度控制系统和电铸液循环系统,电铸系统内的芯模外侧设有磁场发生器。本发明专利技术解决了高深宽(径)比微结构电铸的液相传质受限问题,所制备的电铸件厚度均匀,沉积缺陷少、组织致密。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法,首先把阳极与阴极芯模放置在电铸槽内,之后向电铸槽内加电铸液、阴阳极接通电源,当芯模上电铸层达到规定厚度之后断电,停止供液和电铸,取出芯模脱模去胶,其特征在于:电铸过程中,芯模外叠加有与阴阳极间电流方向垂直的磁场。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:明平美姜无疾李伟吕印定
申请(专利权)人:河南理工大学
类型:发明
国别省市:41

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