【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体激光干涉仪，特别是一种。
技术介绍
信息技术和微电子机械系统(MEMS)技术的迅速发展，对位移检测技术提出了越来越高的要求。干涉测量因为具有高精度、高分辨率、非接触性等优点被广泛研究。正弦相位调制干涉技术是一种国际前沿的干涉测量技术，具有精度高、调制方便、结构简单等优点，近年来受到研究人员的重视，在位移测量领域得到了很大发展。在正弦相位调制位移测量干涉仪中，正弦相位调制深度是求解待测位移的关键参数，其测量精度将直接影响待测位移的精度。0. Sasaki等提出了一种全光纤正弦相位调制干涉仪(在先技术 ^Sinusoidal phase modulating interferometer using optical fibers for displacement measurement”，App 1. Opt. 27,4139-4142，1988)。此干涉仪利用干涉信号中三阶分量和一阶频谱分量的比值确定正弦相位调制深度，由于在测量过程中，利用近似的干涉信号表达式对数据进行处理，没有考虑光强调制的影响，从而引入了一定的系统误差，进而降低了位移的测量...
【技术保护点】
１．一种半导体激光正弦相位调制干涉仪调制深度的测量方法，该方法测量的半导体激光正弦相位调制干涉仪结构包括由驱动电源（２）驱动的带有温度控制器（１）的光源（３）、隔离器（４）、光纤耦合器（５）、准直器（６）、被测物体（７）、光电探测器（８）、信号处理器（９），所述的驱动电源（２）为光源（３）提供直流电流和正弦调制电流，由光源（３）发射的光束通过由隔离器（４）、光纤耦合器（５）和准直器（６）准直后照射到被测物体（７）上，由被测物体（７）表面反射的光和由准直器（６）出射端面反射的光通过准直器（６）后，经由光纤耦合器（５）输出的正弦相位调制干涉信号Ｓ（ｔ）由光电探测器（８）探测，所...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王渤帆，李中梁，王向朝，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31
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