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一种半导体激光正弦相位调制干涉仪调制深度的测量方法，所述的干涉仪结构包括光源、隔离器、光纤耦合器、准直器、光电探测器和信号处理器。光电探测器将接收到的干涉信号转换成电信号与光源驱动电源的电压信号一起输入信号处理器内进行数据处理，得到正弦相位...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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