具有MEMS光阀的显示装置制造方法及图纸

一种具有MEMS光阀的显示装置，所述显示装置包括：基底；位于所述基底上的固定光栅、MEMS光阀，所述MEMS光阀用于控制所述固定光栅的开启、关闭；所述MEMS光阀包括：第一光阀和第二光阀；通过控制所述第一光阀和所述第二光阀的移动控制所述固定光栅的开启、关闭，且所述第一光阀和第二光阀的移动方向相反。本实用新型专利技术可以提高MEMS光阀的灵敏度。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及显示
，尤其涉及具有MEMS光阀的显示装置。
技术介绍
近年来，随着信息通讯领域的迅速发展，对各种类型的显示设备的需求越来越大。 目前主流的显示装置主要有阴极射线管显示器(CRT)，液晶显示器(LCD)，等离子体显示器(PDP)，电致发光显示器(ELD)和真空荧光显示器(VFD)等。由于液晶显示装置具有轻、 薄、占地小、耗电小、辐射小等优点，被广泛应用于各种数据处理设备中，例如电视、笔记本电脑、移动电话、个人数字助理等。液晶显示装置主要包括基底，在该基底内设有背光源；像素电极，位于所述基底上，基底上还具有TFT(薄膜晶体管开关)阵列，该TFT(薄膜晶体管开关)阵列用于与像素电极电连接，控制像素电极的电位；彩色滤光板，以及位于像素电极和彩色滤光板之间的液晶层，并且在彩色滤光板向液晶层的一面上形成有公共电极层。通过TFT(薄膜晶体管开关)阵列给像素电极提供电势，使公共电极层和像素电极之间具有电势差，通过该电势差使液晶层中的液晶偏转，根据电势差的大小控制液晶偏转的角度，从而可以控制背光源发出的光透过液晶层发送至彩色滤光板的光的多少。液晶显示装置中，使用的背光源为白光， 而且只有偏振光才可以通过液晶层，这将会损失50%的光，使光的利用率仅有50%，当光通过彩色滤光板，光的效率最多只有33%，因此液晶显示装置中光的利用率比较低。此外， 液晶显示装置还具有其他方面的缺陷例如视角范围小，结构复杂、成本高等。随着MEMS技术的发展，显示装置中，利用MEMS光阀替换液晶层，通过MEMS光阀控制背光源发出的光的透光率。TFT-MEMS借助现有TFT-LCD平板微加工技术，用高速高效的 MEMS光阀替换液晶，不再需要偏光片、彩色滤光板，可大幅度提高光效率、降低功耗以及制造成本。2007年9月18日公开的公开号为US7271945B2的美国专利公开了一种用MEMS光阀的显示装置，然而MEMS光阀灵敏度较低。
技术实现思路
本技术解决的问题是现有技术的显示装置中的MEMS光阀灵敏度低。为解决上述问题，本技术提供一种具有MEMS光阀的显示装置，包括基底；位于所述基底上的固定光栅、MEMS光阀，所述MEMS光阀用于控制所述固定光栅的开启、关闭；所述MEMS光阀包括第一光阀和第二光阀，所述第一光阀设于所述第二光阀之上；通过控制所述第一光阀和所述第二光阀的移动控制所述固定光栅的开启、关闭，且所述第一光阀和第二光阀的移动方向相反。可选的，所述第一光阀包括第一可动光栅，第一电极和第二电极；所述第一可动光栅与所述第一电极固定连接，所述第一电极和第二电极相对设置，在第一电极和第二电极之间形成电容，在所述第二电极和所述第一电极之间具有电势差时，所述第一电极带动所述第一可动光栅移动；所述第一可动光栅在与所述第一电极相对的一侧具有固定端，通过所述固定端固定所述第一可动光栅，在所述第一电极和第二电极之间没有电势差时，所述第一可动光栅的固定端带动第一可动光栅回复原状。可选的，所述第二光阀包括第二可动光栅，第三电极和第四电极；所述第三电极、第四电极位于所述第二可动光栅相对于第一电极和第二电极的另一侧；所述第二可动光栅与所述第三电极固定连接，所述第三电极和第四电极相对设置，在第三电极和第四电极之间形成电容，在所述第三电极和所述第四电极之间具有电势差时，所述第三电极带动所述第二可动光栅移动；所述第二可动光栅在与所述第三电极相对的一侧具有固定端，通过所述第二可动光栅的固定端固定所述第二可动光栅，在所述第三电极和第四电极之间没有电势差时，所述第二可动光栅的固定端带动第二可动光栅回复原状。可选的，所述固定光栅为矩形，具有顶边、底边和两侧边；所述第一可动光栅和第二可动光栅均为矩形，且均具有第一边、第二边、第三边和第四边，所述第一边和第三边相对，第一边对应所述顶边，第三边对应所述底边，所述第二边和第四边相对，分别对应所述两侧边；所述第一电极和所述第二电极设置于所述第一可动光栅的第二边一侧，所述第一可动光栅的固定端设于所述第一可动光栅的第四边一侧；所述第三电极和所述第四电极设置于第二可动光栅的第四边一侧，所述第二可动光栅的固定端设于所述第二可动光栅的第二边一侧。可选的，所述第一光阀还包括第一固定板，设于所述第一可动光栅的第四边与第一可动光栅固定连接，所述第一固定板为两个，对称分布在所述第一可动光栅的第四边，且分别位于所述第一可动光栅的第一边一侧和第三边一侧；所述第一可动光栅的固定端设于所述第一固定板远离第一可动光栅的一端；所述第二光阀还包括第二固定板，设于所述第二可动光栅的第二边与第二可动光栅固定连接，所述第二固定板为两个，对称分布在所述第二可动光栅的第二边，且分别位于所述第二可动光栅的第一边一侧和第三边一侧；所述第二可动光栅的固定端设于所述第二固定板远离第二可动光栅的一端。可选的，所述第一电极具有第一板、第二板，第一板和第二板与所述第一可动光栅连接且对称分布，所述第一板和所述第二板远离第一可动光栅的一端为第一固定端，通过所述第一固定端固定所述第一电极；所述第二电极具有第三板和第四板，第三板与所述第一电极的第一板相对，第四板与所述第一电极的第二板相对，所述第三板和所述第四板之间具有第二固定端，第二固定端连接第三板和第四板，通过所述第二固定端固定所述第二电极；所述第二电极两端与第一电极之间的距离小于第二固定端与第一电极之间的距离。可选的，所述第三电极具有第一板、第二板，所述第一板和所述第二板与所述第二可动光栅连接且对称分布，所述第一板和所述第二板远离第二可动光栅的一端为第三固定端，通过所述第三固定端固定所述第三电极；所述第四电极具有第三板和第四板，第三板与所述第三电极的第一板相对，第四板与所述第三电极的第二板相对，所述第三板和所述第四板之间具有第四固定端，第四固定端连接第三板和第四板，通过所述第四固定端固定所述第四电极；所述第四电极两端与第三电极之间的距离小于第四固定端与第三电极之间的距离。可选的，所述第一可动光栅、第二可动光栅具有多个条状的透光开口，所述条状的透光开口与所述第一可动光栅、第二可动光栅的第二边平行。可选的，所述固定光栅为圆形；所述第一可动光栅为圆形，具有多个扇形的透光开口 ；所述第二可动光栅为圆形，具有多个扇形的透光开口 ；所述第一电极、第二电极、第一可动光栅的固定端设于第一可动光栅的圆周边；所述第三电极、第四电极、第二可动光栅的固定端设于第二可动光栅的圆周边。可选的，所述第一电极具有第一板，第一板与所述第一可动光栅的圆周边缘连接， 所述第一板远离第一可动光栅的一端为第一固定端，通过所述第一固定端固定所述第一电极；所述第二电极具有第二板，第二板与所述第一电极的第一板相对，所述第二板具有第二固定端，通过所述第二固定端固定所述第二电极；所述第二极板远离第二固定端的一端与第一电极之间的距离小于第二固定端与第一电极之间的距离；所述第三电极具有第三板，第三板与所述第二可动光栅的圆周边缘连接，所述第三板远离第二可动光栅的一端为第三固定端，通过所述第三固定端固定所述第三电极；所述第四电极具有第四板，第四板与所述第三电极的第三板相对，所述第四板具有第四固定端，通过所述第四固定端固定所述第二电极；所述第四极板远离第四固定端的一端本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种具有ＭＥＭＳ光阀的显示装置，包括：基底；位于所述基底上的固定光栅、ＭＥＭＳ光阀，所述ＭＥＭＳ光阀用于控制所述固定光栅的开启、关闭；其特征在于，所述ＭＥＭＳ光阀包括：第一光阀和第二光阀，所述第一光阀设于所述第二光阀之上；通过控制所述第一光阀和所述第二光阀的移动控制所述固定光栅的开启、关闭，且所述第一光阀和第二光阀的移动方向相反。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毛剑宏，唐德明，
申请(专利权)人：上海丽恒光微电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31