【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及厚膜太阳能电池的制备方法，更具体地，是一种柔性基底多晶硅/非晶硅叠层厚膜太阳能电池的制备方法。
技术介绍
太阳能是最清洁的可再生能源之一，在世界范围内正得到越来越广泛的应用。太阳能的利用方式有光热转换和光电转换两种方式，利用太阳能发电不会导致温室效应和酸雨，也不会发生核泄漏等危害环境的现象，对于环保以及发展低碳经济具有重大意义。太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能的装置。目前，晶体硅是太阳能电池采用的最普遍的材料，晶体硅太阳能电池制造技术成熟，转换效率较高，一直是太阳能电池技术主流，但硅材料的成本很高，在太阳能电池的总成本中占60% 以上，且高纯硅对生产工艺要求很高，从而制约了晶体硅太阳能电池的发展。相对于晶体硅太阳能电池而言，薄膜太阳能电池由于来源广泛且供应充足，在成本上具备一定的竞争力，但目前80%左右的薄膜类太阳能电池是Cd、Te薄膜电池，这两种材料都有剧毒，生产过程中对工艺技术要求非常严格，且使用后需要利用严格的废弃物处理技术处理，否则容易对环境造成严重影响；且从性能上来讲，非晶薄膜太阳能电池远远落后于晶体硅太阳能电池...
【技术保护点】
１．一种厚膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（１）柔性基底的制备及其表面处理：将石英或不锈钢进行裁切后得到石英基片／不锈钢基片，清洗烘干后得到柔性基底；（２）氮化硅绝缘层的沉积及其热处理：采用等离子体增强化学气相沉积法（ＰＥＣＶＤ）在（１）中的柔性基底表面分两次沉积０．１～０．２μｍ厚的氮化硅绝缘层，第一次沉积时间为２０～３５分钟，第二次沉积时间为３０～４５分钟；然后将沉积有氮化硅绝缘层的基片放入烘箱内，在Ｎ２保护下以５～１０℃／ｍｉｎ的速率进行程序升温至２８０℃，保温２～４小时后再以５～１０℃／ｍｉｎ的速率进行程序降温至室温；（３）透明导电层的沉积：采用磁...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李成敏，
申请(专利权)人：无锡成敏光伏技术咨询有限公司，
类型：发明
国别省市：32
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