以WO3为基材的Cr2O3或NiO的多孔薄膜材料及制备气敏传感器的方法技术

本发明专利技术涉及以WO3为基材的Cr2O3或NiO的多孔薄膜材料的制备方法及制备气敏传感器的方法。原料采用化学纯的钨酸H2WO4和分析纯的Cr(NO3)3·9H2O或Ni(NO3)2·6H2O；以2mol/L柠檬酸为络合剂、30％双氧水(H2O2)为分散剂、尿素为造孔剂制备WO3-Cr2O3或WO3-NiO溶胶材料。通过溶胶-凝胶法制备的多孔薄膜型气敏传感器，具有选择性好，灵敏度高，响应-恢复时间快，稳定性好等特点。本发明专利技术可实现对低浓度特定气体的灵敏检测，特别适合在呼吸检测，食品质量检测，环境检测等领域，研究与应用价值显著，能且具有能耗与成本低、体积小、操作简单等特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体气体敏感材料工程领域，涉及WO3基半导体多孔薄膜材料及此材料传感器的制备方法。具体的是以WO3为基材的Cr2O3或MO的多孔薄膜材料的制备方法及制备气敏传感器的方法。
技术介绍
随着社会的发展和人民生活水平的提高，在日常生活和工业生产中人们越来越多的需要去探测各种可能接触的气体。例如在工业及公共安全领域中，通过丙酮气敏传感器监测环境中丙酮气体的泄漏，可对有可能造成的安全和人身健康方面的重大危害做出报警；在呼吸诊病中，通过检测人体呼出气体中的丙酮浓度，可以判断是否患有I型糖尿病。 在酒后驾驶检测中，通过对驾驶员呼出气体中的乙醇浓度进行检测，可以实时判断驾驶员是否酒后驾车。在口臭检测中，通过检测人体呼出气体中吐3气体的浓度，可以方便快捷的检测出是否患有口臭。此前对微量气体进行定量检测的方法主要有气相或液相色谱法、固体电解质法、 分光光度计法、石英晶体微量秤法、声表面波器件(SAW)、光寻址电位传感器(LAPQ法和光纤传感器法等。但是这些方法检测成本昂贵，传感器的制备方法复杂。近年来，随着研究的深入，人们应用新材料、新工艺研究开发了许多新的传感器。 目前，氧化物半导体本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种以ＷＯ３为基材的Ｃｒ２Ｏ３或ＮｉＯ的多孔薄膜材料的制备方法，其特征是步骤如下：ａ）原料采用化学纯的钨酸Ｈ２ＷＯ４和分析纯的Ｃｒ（ＮＯ３）３·９Ｈ２Ｏ或Ｎｉ（ＮＯ３）２·６Ｈ２Ｏ；以２ｍｏｌ／Ｌ柠檬酸为络合剂、３０％双氧水（Ｈ２Ｏ２）为分散剂、尿素为造孔剂；在５０ｍＬ的烧杯中，称取３．７４７９ｇ（０．０１５ｍｏｌ）Ｈ２ＷＯ４以及０．５ｇ尿素置于烧杯中，称取摩尔百分比为０．１－１０％的Ｃｒ（ＮＯ３）３·９Ｈ２Ｏ或Ｎｉ（ＮＯ３）２·６Ｈ２Ｏ置于烧杯中，并加入１２．５ｍＬ去离子水和２０ｍＬ　Ｈ２Ｏ２；搅拌后超声分散，得到ＷＯ３－Ｃｒ２Ｏ３或ＷＯ３－ＮｉＯ溶液；ｂ）在不断搅拌下，向上述ＷＯ３－Ｃ...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高鹏，季惠明，冯婉评，曹培，周玉贵，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：12