湿式镀膜系统技术方案

本发明专利技术涉及一种湿式镀膜系统，其包括一个低温腔室、一个加热腔室、一个隔离腔室、一个传输装置、一个清洗槽、一个镀膜槽、一个热风喷槽及一个加热槽。该隔离腔室连通该低温腔室及加热腔室以形成一个密闭的真空镀膜腔。该传输装置包括一个跨设该三个腔室的滑轨及一个滑动设置于该滑轨上、用于夹持一个基材的升降手臂。该清洗槽、镀膜槽、热风喷槽及加热槽顺着该滑轨自该低温腔室至该加热腔室的滑向依次设置于该滑轨下。该清洗槽及镀膜槽位于该低温腔室内；该热风喷槽位于该隔离槽内；该加热槽位于该加热腔室内。如此，基材可在单一、密闭的环境内依次清洗、镀膜、风干及退火，避免基板不同设备中流装而被氧化，提升了良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及镀膜技术，尤其涉及一种湿式镀膜系统。
技术介绍
薄膜制备技术一般可分为干式镀膜与湿式镀膜两种，其中，湿式镀膜由于具有镀膜设备简单、便宜、沉积速率快、易于控制镀膜厚度、镀膜温度低、不受限于镀膜基材的形状及材料(甚至可在软性基材镀膜)等优点，近年来广泛应用于陶瓷、高分子及金属基材的薄膜制备。一般地，湿式镀膜时，基材需在不同的设备中流转，进行清洗、风干、镀膜、退火等工序，流转过程中，基板或镀在基材上的膜层暴露在空气中，容易被氧化，导致所镀的膜层品质不佳，良率下降。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种能提升镀膜品质良率的湿式镀膜系统。一种湿式镀膜系统，其包括一个低温腔室、一个加热腔室、一个隔离腔室、一个传输装置、一个清洗槽、一个镀膜槽、一个热风喷槽及一个加热槽。该隔离腔室连通该低温腔室及加热腔室以形成一个密闭的真空镀膜腔。该传输装置包括一个滑轨及一个升降手臂。 该滑轨跨设该低温腔室、隔离腔室及加热腔室。该升降手臂滑动设置于该滑轨上，用于夹持一个基材并带动该基材沿垂直于该滑轨的方向伸缩。该清洗槽、镀膜槽、热风喷槽及加热槽顺着该滑轨自该低温腔室至该加热腔室的滑向依次设置于该滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种湿式镀膜系统，其特征在于包括一个低温腔室、一个加热腔室、一个隔离腔室、一个传输装置、一个清洗槽、一个镀膜槽、一个热风喷槽及一个加热槽；该隔离腔室连通该低温腔室及加热腔室以形成一个密闭的真空镀膜腔；该传输装置包括一个滑轨及一个升降手臂于该低温腔室内；该热风喷槽位于该隔离槽内；该加热槽位于该加热腔室内。；该滑轨跨设该低温腔室、隔离腔室及加热腔室；该升降手臂滑动设置于该滑轨上，用于夹持一个基材并带动该基材沿垂直于该滑轨的方向伸缩；该清洗槽、镀膜槽、热风喷槽及加热槽顺着该滑轨自该低温腔室至该加热腔室的滑向依次设置于该滑轨下；该清洗槽及镀膜槽位

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：裴绍凯，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94