镀膜机制造技术

技术编号:6838532 阅读:219 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种镀膜机,其用于将待镀液体涂布到基板上,所述镀膜机包括容器和转子,所述容器用于容纳待镀液体,所述容器包括侧壁,所述基板固定于所述侧壁上,所述转子包括相互连通的入液口和出液口,参杂液体自所述入液口流入所述转子中,并在离心力的作用下由所述出液口排出而与所述待镀液体混合,所述转子的转动带动所述待镀液体和参杂液体旋转以将待镀液体和参杂液体附着于所述基板上。本发明专利技术的镀膜机的转子设置有相互连通的入液口和出液口,待添加的其他需要的液态物质可自入液口注入转子中,并且在转子转动产生的离心力作用下自出液口喷射出而与待镀液体混合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种镀膜机,尤其涉及一种利用离心力进行镀膜的镀膜机。
技术介绍
旋转涂布(Spin Coating)是一种在基板上形成一层薄膜的方法。具体地,基板固定于一可控的旋转离心机工作平台中心,并随之旋转,一滴液装置将待镀液体滴在基板中心,液滴在离心力的作用下从基板中心向四周抛洒出去,从而使得待镀液体分布在基板的整个待镀表面上。此后,基板通常会被加热以使分布在基板上的待镀液体蒸发而形成薄膜。在某些情况下,如要求镀膜层具有特定的品质时,需要在镀膜进行过程中在待镀液体中添加其他液态物质,常规进行旋转涂布的镀膜机不能很方便的实现上述添加其他液态物质到待镀液体中。此外,由于液滴在离心力的作用下从基板中心向四周抛撒,所以工作台上每次只能安装一块基板,降低了镀膜的效率。
技术实现思路
本专利技术提供一种镀膜机,通过该镀膜机的转子可方便的在待镀液体中添加其他需要的液态物质。一种镀膜机,其用于将待镀液体涂布到基板上,所述镀膜机包括容器和转子,所述容器用于容纳待镀液体,所述容器包括侧壁,所述基板固定于所述侧壁上,所述转子包括相互连通的入液口和出液口,参杂液体自所述入液口流入所述转子中,并在离心力的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜机,其用于将待镀液体涂布到基板上,其特征在于:所述镀膜机包括容器和转子,所述容器用于容纳待镀液体,所述容器包括侧壁,所述基板固定于所述侧壁上,所述转子包括相互连通的入液口和出液口,参杂液体自所述入液口流入所述转子中,并在离心力的作用下由所述出液口排出而与所述待镀液体混合,所述转子的转动带动所述待镀液体和参杂液体旋转以将待镀液体和参杂液体附着于所述基板上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:裴绍凯
申请(专利权)人:鸿富锦精密工业深圳有限公司鸿海精密工业股份有限公司
类型:发明
国别省市:94

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