基于MEMS技术的电压力锅压力检测模块制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于MEMS技术的电压力锅压力检测模块，包括壳体、硅橡胶膜片、压环、基板以及旋塞，硅橡胶膜片、压环、基板组成的腔体内充满有硅油，MEMS压力传感器和测温元件电装在基板接触硅油的一侧，信号调理器和信号线电装在基板非接触硅油的一侧，壳体和压环之间通过硅橡胶膜片的弹性变形密封连接。MEMS压力传感器实时感知由硅橡胶膜片和硅油传递的锅内气体压力；测温元件实时感知压力传感器的温度。本实用新型专利技术有益的效果是：具有压力动态测量顺畅；压力检测范围广、灵敏度高、精度高；结构简单、兼容性强、便于安装；性能可靠、成本低、适宜大批量生产等特性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
１．一种基于ＭＥＭＳ技术的电压力锅压力检测模块，其特征是：包括壳体（１）、硅橡胶膜片（２）、压环（３）、基板（４）以及旋塞（５），硅橡胶膜片（２）、压环（３）、基板（４）组成的腔体内充满有硅油（６），ＭＥＭＳ压力传感器（７）和测温元件（８）电装在基板（４）接触硅油的一侧，信号调理器（９）和信号线（１０）电装在基板（４）非接触硅油的一侧，壳体（１）和压环（３）之间通过硅橡胶膜片（２）的弹性变形密封连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：程浩，熊育信，赵宏，陈立新，陈清浪，
申请(专利权)人：中国船舶重工集团公司第七一五研究所，
类型：实用新型
国别省市：86