下载基于MEMS技术的电压力锅压力检测模块的技术资料

文档序号:6838114

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本实用新型公开了一种基于MEMS技术的电压力锅压力检测模块,包括壳体、硅橡胶膜片、压环、基板以及旋塞,硅橡胶膜片、压环、基板组成的腔体内充满有硅油,MEMS压力传感器和测温元件电装在基板接触硅油的一侧,信号调理器和信号线电装在基板非接触硅油...
该专利属于中国船舶重工集团公司第七一五研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国船舶重工集团公司第七一五研究所授权不得商用。

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