液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置制造方法及图纸

技术编号:6818547 阅读:136 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置。所述液体喷射头包括:岐管形成基板,其具有多个歧管,所述歧管被构成为向与喷嘴连通的压力产生室供应液体;压电元件,其被构成为使所述压力产生室内的液体产生压力变化;密封基板,其具有振动部,所述振动部被构成为设置在与所述岐管相对的区域并且吸收所述岐管的液体的压力变动;头壳体,其具有容纳所述压电元件的压电元件容纳部;大气开放路径,其与大气开放口连通;以及空间部,其设置在所述振动部上,并且经由其他空间部与所述大气开放路径连通。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及从喷嘴喷射液体的液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置
技术介绍
以往,公知有通过压电元件对液体提供压力来从喷嘴喷出液滴的液体喷射头,其中,所述压电元件通过施加电压而变形,作为所述液体喷射头的代表例公知有从喷嘴喷出墨滴的喷墨式记录头。作为这样的喷墨式记录头公知例如下述的喷墨式记录头,该记录头包括在一个面上接合穿设有多个喷嘴的喷嘴板并且分别与各喷嘴连通的多个压力产生室;各压力产生室的共用墨水室(manifold,岐管);改变压力产生室内的压力来对喷嘴提供墨水喷出力的压电振子(压电元件);以及设置在与共用墨水室相对的区域并吸收共用墨水室的液体的压力变动的阻尼用凹部(空间部)(例如,参照专利文献1)。在上述的喷墨式记录头中,为了防止阻尼用凹部内的压力降低,阻尼用凹部被构成为开放在大气中。因此,墨水中的水分从阻尼用凹部蒸发,墨水的粘度上升,由此有时会发生喷出不良。因此,通过使多个阻尼用凹部和开放通路连通并且形成施加了抑制水蒸气扩散的流路阻力的控制通路,由此抑制过量的水蒸气扩散。然而,随着对于墨水的高粘度化以及长时间维持良好的墨水喷出特性的需求,要求比以往进一步抑制液体成分的蒸发。这样的问题不仅存在于喷墨式记录头,同样存在于喷出液体的液体喷射头。本专利技术是鉴于这样的问题而完成的,其目的在于提供一种能够长期维持良好的喷出特性的液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置。
技术实现思路
作为本专利技术的一个方式具有以下的液体喷射头。即,所述液体喷射头包括岐管形成基板,其具有多个歧管,所述歧管被构成为向与喷嘴连通的压力产生室供应液体;压电元件,其被构成为使所述压力产生室内的液体产生压力变化;密封基板,其具有振动部,所述振动部被构成为设置在与所述岐管相对的区域并且吸收所述岐管的液体的压力变动;头壳体,其具有容纳所述压电元件的压电元件容纳部;大气开放路径,其与大气开放口连通;以及空间部,其设置在所述振动部上,并且经由其他空间部与所述大气开放路径连通。本专利技术的其他方式是具有以下构成的液体喷射装置。即,具有上述的液体喷射头或液体喷射头单元的液体喷射装置。附图说明图1是涉及本专利技术的 一个实施方式的喷墨式记录头的截面图;图2是涉及本专利技术的一个实施方式的喷墨式记录头壳体的底面图;图3的(a)和(b)是涉及本专利技术的一个实施方式的喷墨式记录头的主要部分的截面图;图4是涉及本专利技术的其他实施方式的喷墨式记录头壳体的底面图;图5是涉及本专利技术的其他实施方式的喷墨式记录头壳体的底面图;图6是涉及本专利技术的其他实施方式的喷墨式记录头壳体的底面图;图7是涉及本专利技术的一个实施方式的喷墨式记录装置的概要图。具体实施例方式以下,参照附图详细说明本专利技术的一个实施方式。图1是喷墨式记录头的截面图。如图1 3所示,本实施方式的喷墨式记录头(以下简称为“记录头”)100包括 具有压力产生室11的流路形成基板10、穿设有与各压力产生室11连通的多个喷嘴21的喷嘴板20、以及与在流路形成基板10上的与喷嘴板20相反侧的面接合的振动部件(密封基板)15。另外,本实施方式的记录头100包括压电元件单元30,其具有多个压电元件35, 压电元件35被设置在振动部件15上的与各压力产生室11对应的区域;以及壳体40,经由振动部件15与流路形成基板10的一个面接合。另外,在本实施方式中,在流路形成基板10 上形成有成为各压力产生室11的共用液室的岐管13,流路形成基板10也成为了岐管形成基板。在流路形成基板10上,在其一面侧的表层部分,在其宽度方向上并列设置有多个压力产生室11,所述压力产生室11被隔壁划分。另外,在本实施方式中,由并列设置的多个压力产生室11构成的列形成有2列。另外,在各压力产生室11的列的外侧,每个经由壳体40的作为液体导入路径的墨水导入路径41来供应墨水的岐管13以在厚度方向贯穿流路形成基板10而分别地被设置。另外,岐管13和各压力产生室11经由墨水供应路径12被连通,经由墨水导入路径41、岐管13以及墨水供应路径12对各压力产生室11供应墨水。在本实施方式中,墨水供应路径12以比压力产生室11窄的宽度被形成,起到将从岐管13流入压力产生室11的墨水的流路阻力保持为固定的作用。并且,在压力产生室11的与岐管13相反的端部侧形成有贯穿流路形成基板10的喷嘴连通孔14。即,在本实施方式中,在流路形成基板10上作为液体流路而设有岐管13、 墨水供应路径12、压力产生室11、以及喷嘴连通孔14。如上所述的流路形成基板10在本实施方式中由单晶硅基板构成,设置在流路形成基板10上的上述压力产生室11、岐管13等通过对流路形成基板10进行蚀刻来形成。该流路形成基板10的一个面与喷嘴板20接合,在所述喷嘴板20上穿设有多个喷出墨水的喷嘴21,各喷嘴21经由设置在流路形成基板10的喷嘴连通孔14与各压力产生室 11连通。另外,流路形成基板10的另一个面、即压力产生室11的开口面上与振动部件15 接合,各压力产生室11通过该振动部件15被密封。另外,振动部件15如图所述具有与流路形成基板10的另一个面的面积相同程度的面积,并以覆盖流路形成基板10的另一个面整体的方式被接合。该振动部件15由弹性膜15a和支承该弹性膜15a的支承板15b的复合板形成,其中,弹性膜15a由例如树脂薄膜等弹性部件构成,支承板15b由例如金属材料等构成,并且, 弹性膜15a侧与流路形成基板10接合。在本实施方式中,弹性膜15a由厚度为几μπι左右的聚苯硫醚(PPS)薄膜构成,支承板15b由厚度为几十μ m左右的不锈钢板(SUS)构成。另外,该振动部件15的与各压力产生室11的周边部相对的区域为薄壁部15d,所述薄壁部15d是去除支承板15b后实质上只由弹性膜15a构成的。该薄壁部15d构成压力产生室11的一面。另外,该薄壁部15d的内侧分别设有岛部15c,所述岛部15c由与各压电元件35的顶端抵接的、支承板15b的一部分构成。另外,振动部件15的与岐管13相对的区域为振动部16,所述振动部16是去除支承板15b后只由弹性膜15a构成的。换言之,在振动部件15的与岐管13相对的区域中去除支承板15b,从而设置有第1空间部17。该振动部16起到当在岐管13内产生了压力变化时吸收压力变动而将岐管13内的压力始终保持固定的作用。并且,在该振动部件15上接合壳体40。即,本实施方式的壳体40经由振动部件 15与流路形成基板10接合。在壳体40中,如图1所示,在与第1空间部17相对的区域设置有第2空间部42,第2空间部42具有不阻碍振动部16的变形的程度的高度。如上所述, 在本实施方式中,在与岐管13相对的区域设置有由第1空间部17以及第2空间部42构成的空间部60。对于空间部60后面详细叙述,所述空间部60与设置在壳体40的上表面的大气开放口连通并被向外部空间开放。由此,空间部60(第1空间部17以及第2空间部42) 内的压力始终与外部空间保持不变。另外,在压电元件容纳部43的墨水导入路径41侧设有阶梯部45,后述的压电元件单元30的固定基板36与该阶梯部45接合。另外,在壳体40的与流路形成基板10侧相反侧的面固定有布线基板70,在所述布线基板70上设有多个导电片(conductive 本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体喷射头,包括:岐管形成基板,其具有多个歧管,所述歧管被构成为向与喷嘴连通的压力产生室供应液体;压电元件,其被构成为使所述压力产生室内的液体产生压力变化;密封基板,其具有振动部,所述振动部被构成为设置在与所述岐管相对的区域并且吸收所述岐管的液体的压力变动;头壳体,其具有容纳所述压电元件的压电元件容纳部;大气开放路径,其与大气开放口连通;以及空间部,其被设置在所述振动部上,并且经由其他空间部与所述大气开放路径连通。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:富樫勇
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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