传感器高精度动态测试仪制造技术

一种传感器的动态测试仪，由动态可控的测试电压源，动态可调的标准电阻，极性处理模块，衰减式反馈网络等组成。通过数值处理器控制测试电压源，实现动态可调的高精度电压源，使得待测传感器所加的测试电压是确定的；通过动态可调的标准精密电阻实现在测量过程中动态选择合适的测量档位，并通过衰减式反馈网络获得大阻值标准精密电阻；采取极性处理模块解决零点漂移问题，从而实现传感器的大范围动态高精度测量。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器的测试表征等测量领域，特别是传感器的高精度动态测量。
技术介绍
现代纳米技术催生出采用纳米材料研制的各种高性能传感器，如酒精、CO、H2S等各种气敏传感器、温湿度传感器等等，这些传感器正以极高灵敏度(高达10000)、极快的响应速度(小于IS)等无可比拟的优越特点正在取代传统工艺制备的传感器，尤其是现代物联网技术的迅速发展，更是使这些物联网前端新型传感器件备受关注，需求大增，各级科研机构纷纷研制、改良各类传感器，然而他们却都是使用传统的传感器测量仪器进行测量、分析，而这些仪器已经不能适应现代纳米传感器的特点了。传统的传感器测量原理是采取电阻分压测量原理，即传感器与基准电阻串联分压，通过测量分压值来推算传感器电阻值。例如，普通高等院校机电类规划教材《检测与转换技术》第三版机械工业出版社(书号ISBN 7-111-03106-7)，第八章第二节气敏传感器第五小节基本测试电路017页)，其测量原理图如图3所示就是这种分压式测量原理，从图中可以通过公式计算传感器QM-N5的电阻Rs = UcR^/Um-l(式中&是基准电阻，Uc是测试电压源，Uel是取样电压)。又如，甘肃科学学报《半导体气敏传感器及其阵列的检测技术研究》(2009)、仪表技术与传感器《基于ARM的高阻气敏传感器测试电路》Q006)等论文，河南上市公司汉威电子公司生产的“HW-C30A气体传感器测试仪”，也都是采取这种分压式原理测量的。这种方式的测量导致业界五个大问题，并引起测量结果的极大误差一是测量结果精度低，分压的结果直接导致A/D转换的精度降低，测量误差高达 90%以上。目前传感器灵敏度已经达到几十倍甚至数百倍以上，传感器的电阻在测试过程中的变化高达10个量级以上。如反应前测量误差为1%，而反应灵敏度若为100则反应后的测量误差就高达*100 = 100%，因此测量精度很低，所测试结果反映不了传感器的本证特性。二是纳米传感器的电阻值范围极宽，大到千兆欧以上，用这种分压方式测量势必要选择上千兆的精密基准电阻，而常规精密电阻的范围限于2兆欧以下，这种大阻值的精密电阻实际上做不出来或者要采用极为昂贵材料和特殊工艺制作，故无法实现测量；三是传感器测量电压的不确定性，也就是说若使用5V电压测量时，实际加在传感器上的电压是个动态不确定值，利用这种仪器测量结果将直接误导传感器测试结果的巨大误差；四是传感器测量电压不能随意设置，即不能过小或大于A/D转换器的参考电压， 否则将引致失真或不精确的小幅度分电压值，直接导致测量结果准确度低；五是整个业界均被误导为测量的灵敏度值就是这种测量在传感器反应前后的分压值的比值，实际上它们有很大差别，通过简单计算可知，若反应灵敏度为m，在最佳匹配情况下，其反应前后的电压比值WVku = (m+l)/2，只有在m = 1时，电压比值VkVVku = 1 =m，若在m = 100则电压比值V&2/VKU = 50. 5，可见用电压比来体现灵敏度的误差是出人意料的大，这直接误导了传感器的研究。因此，本专利的传感器高精度动态测试仪可精确计算出传感器的电阻和灵敏度等指标。包括动态可控的测试电压源实现动态可调的高精度电压源，使得待测传感器所加的测试电压是确定的；动态可调的标准电阻通过动态可调的标准精密电阻实现在测量过程中动态选择合适的测量档位，以达到高精度测量；还包括极性处理模块通过测量和减去正负极性的零点值，解决测量电路的零点漂移问题。衰减式反馈网络以获得大阻值标准精密电阻，以解决难以获得大阻值标准精密电阻难题。由上所述，本专利的传感器高精度动态测试仪，彻底克服了现有测量技术中动态测量精度低、不能测量高阻值纳米传感器、加在传感器上的测试电压源不确定和业界在传感器灵敏度方面的误导等问题，具有以下一系列十分明显的优点本专利通过所述测量电路，尤其是其反馈网络彻底解决高阻值标准精密电阻问题，可以测量千兆欧以上的纳米传感器电阻值，并且得到的测量结果就是传感器的真实电阻值和灵敏度值；通过设置和自动切换不同反馈网络(档位)的电路和方法解决传感器反应过程中阻值大范围动态变化时测量精度问题；通过将传感器接入反向运算放大器输入端的方式和测试电压控制方法解决加在传感器上的测试电压源不确定性问题和不能随意设置的问题，该电压值可以在用户需要的任意宽范围内设定；通过极性处理模块和极性处理方法解决电路的零点及其动态漂移问题，从而大幅度提高测量准确度。本专利给出了一种完全区别于传统传感器测量的可行的新电路方式和新测量方法的测试仪，能够很好地适合于测量研究现代新型纳米传感器的特点以及各类其它传感器的特点，全部测量和操作可由电脑或单片电脑自动控制，全面解决传统传感器测量中测量范围窄、测量精度差问题、大阻值精密电阻难以生产等难题，规避了传统测量方法中诸如测量电压不确定性、动态精度差、将分压比错误地视为灵敏度等业界普遍存在的问题，从而引导传感器的研究朝正确方向发展。附图说明图1是本专利动态测试仪测试气体传感器的敏感材料的形貌图图2是本技术的一种传感器高精度动态测试方法软件流程图。图3是传统传感器的分压式测量原理电路图。图4是本专利动态测试仪测试湿度传感器的敏感材料的形貌图图5是本专利动态测试仪测试的多种结构外型实施例1气体传感器动态测试仪采用P型氧化铜纳米颗粒包覆N型的氧化锡纳米带材料制备气体传感器，在大气中大电阻为1200兆欧姆，在硫化氢气体作用下，氧化铜变为硫化铜，电阻减小为50欧姆，其电阻在18毫秒内变化了 8个量级。本申请专利测试仪测试出了气体传感器电阻的大幅、瞬间变化。实施例2湿度传感器动态测试仪采用氧化铝模办法制备出多孔内生长的纳米材料。孔中再生长纳米材料，进一步提高了敏感材料的比表面积，提高了湿度传感器的灵敏度。这种材料制备出了电容式的湿度传感器和电阻式的湿度传感器。本申请专利测试仪分别测试出了电容式、电阻式传感器的电容、电阻的大幅、瞬间变化。实施例3 生物传感器动态测试仪采用微纳加工技术制备出晶体管结构的生物传感器，本申请专利测试仪测试出了生物传感器在检测到禽流感病毒后电阻的大幅、瞬间变化。实施例4分别采用欧洲标准、美国标准等制备出了传感器动态测试仪，可测试平面型、管型、薄膜型等传感器的性能，测试出了传感器反应前后物理量的大幅、瞬间变化。如图5所7J\ ο实施例5传感器高精度动态测试方法软件的流程图，可以这样实现(1)测量初始化软件将以下部分软件中必要的参数和变量进行初始化；(2)测试电压控制软件控制加在传感器电阻上的测试电压VT ；(3)A/D转换软件通过所述测试电压控制软件输入测试电压(VT)后对含有传感器的电阻信息的测量电路输出电压进行A/D转换，以获得含有所述电阻信息的数字量；(4)极性处理软件用以判断所述A/D转换软件所获得的数字量的符号，获得有符号数字量；所述极性处理软件的是通过方式一或方式二进行的，其中方式一是通过所述A/D转换软件对测量电路互为反相的两路输出电压所获得的数字量进行分析，所述A/D转换器对负电压信号采集的数字量总是为0或近似为零，而另一路所采集的数字量则总是等于或高于该路的数字量，这样就可获得有效的数字量和符号；方式二是通过所述A/D转换软件对测量电路所输出电压的绝对本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种传感器高精度动态测试仪，包括动态可控的测试电压源：实现动态可调的高精度电压源，使得待测传感器所加的测试电压是确定的；动态可调的标准电阻：通过动态可调的标准精密电阻实现在测量过程中动态选择合适的测量档位，以达到高精度测量。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王太宏，张恩迪，
申请(专利权)人：北京中科微纳物联网技术股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11