化学过滤网结构制造技术

一种化学过滤网结构，是包括一正面框、至少一侧框以及至少一吸附单元，其中，该正面框设有至少一开口，该侧框是与该正面框活动结合，该吸附单元的二外侧是各设有滤网，且该二滤网间是设有吸附剂，而该吸附单元是结合于该侧框中；由此，当该吸附单元吸附饱满时，由活动拆离该侧框以抽换该吸附单元，以供重复更换使用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关 一 种化学过滤网结构，尤指 一 种由 侧框与正面框活动结合的组合设计，而令该侧框可自 正面框上活动拆离，方便拆卸该侧框以抽换该吸附单 元，提供 一 重复更换使用的化学过滤网结构，适用于电子制造业的无尘室如IC、 TFT、半导体制造业的无尘 室或类似场地。
技术介绍
随着半导体技术不断的进步，IC制程线径不断的 缩小，最新进的半导体技术已进入45nm，未来将更进 一步地跨入22及32nm制程技术，也由于IC线径不断 的縮小，因此外部空气或无尘室内中含微污染(Airborne Molecular Contamination, AMC) 物质， 例如含硫物质S0x、 H2S、 DMSO(Dimethyl Sulfoxide ，(CH3) 2S0)、 DMS ( Dimethyl Sulfide, (CH3) 2S)等， 酸性物质N0X， 碱性物质NH3、 MEA (MonoethanolAmine, NH2C2H40H)等，含低沸点的挥发性有机化合物 (Volatile Organic Compounds ， VOCs ) 、 IPA (Isopropyl Alcohol ， C:iH70H)、丙酮等，以及含高沸点的挥发性有机化合物(Volatile OrganicComp o u n d s ，vocs)等，对于制程〖良率的影响，曰_>人扩大为了提升制程良率，半导体厂通常需于外气空调箱及气流循环区加装《七学过滤网目、/ -目U市场上使用化学过滤网型式， 其结构大多是于框架内设有化学滤网，该化学滤网的型态可设为多孔性活性碳滤网、薄层多折式滤网、蜂巢状滤网...等型式，再将该框架置于气体过滤的风口以进行气体过滤然，现有的化学滤网往往无法兼顾去除成份、去除效率、压力损失、使用寿命及制造成本等因素，且使用饱和后的化学滤网是与框架设为一体，故使用饱和后□能全部丢弃，无法再生重复使用，而产生另一种垃圾污染，故实际使用上仍:不符使用者的所需。
技术实现思路
本专利技术的主要目的，在提供 一 种化学过滤网结构， 由侧框与正面框活动结合的组合设计，而令该侧框可 自正面框上活动拆离，方便拆卸该侧框以抽换该吸附 单元，以提供 一 重复更换使用的化学过滤网结构，除可降低制造成本外，尚具环保功能，以增加本专利技术的实用性、经济性与环保性。本专利技术的次目的，在提供 一 种化学过滤网结构，由该吸附单元可替换成多种型式，而使本专利技术的化学过滤网可适用于各种场合及不同环境的需求，使去除效率更佳且降低了过滤的压力损失，并提高了化学过滤网的使用寿命，增力口本专利技术的实用性与便禾u性。为达上述巨的，本专利技术提供 一 种化学过滤网结构，苴 z 特征在于，包括 一正面框，设有至少 一 开口 ；至少 一 侧框，该侧框与该正面框活动结合；以及至少 一 吸附单元，该吸附单元的二外侧各设有滤 网，且该二滤网间设有吸附剂，而该吸附单元结合于 该侧框中；由此，当该吸附单元吸附饱满时，由活动拆离该 侧框以抽换该吸附单元，以供重复更换使用。其中该吸附单元的二滤网间进 一 步设有 一 支撑结 构，而该吸附剂设于该支撑结构中。其中该吸附单元的二滤网间进 一 步设有多数个支 撑结构，而该些支撑结构区隔为数层，且该些支撑结构间进 一 步设有滤网，由此设置不同的吸附剂。中该吸单元进——1步结合于 一 吸附剂边框后再与侧框仝± A 5口 口。苴 z 、中该侧框上设有凸肋，而该吸附剂边框上设有凹槽，由侧框凸肋与吸附剂边框上凹槽的结合以供该侧框与该吸附剂边框相互活动结合。苴 z 、中该吸附单元进步设有吸附剂边框，该吸附剂边框上设有启闭口，以供使j入吸附剂,中该侧框的凸肋进一止 少设有气密条以防气体外泄。其中该滤网为不织布滤网。 其中该滤网为细网。其中该正面框背侧设有凹槽，而该侧框上相对设 有凸块，由正面框凹槽与侧框上凸块的结合，以供该 正面框与该侧框相互活动结合。其中该正面框的开口上进一步设有滤网。其中该侧框于外侧进 一 步设有 一 保护网。附图说明为使审查员方便简捷了解本专利技术的其它特征内容点及苴 / 、所达成的功效能够更为显现，以下结合实及附图详细说明如后苴 乂 、中图1是为i本专利技术实施伊J的立体外观图，图2是为i本专利技术实施例的结合剖示图，图3是为f本专利技术实施例的使用示意图，图4是为f本专利技术实施例的部分立体分)解图'图5是义7本专利技术实施例吸附单元与吸附剂边框的示思图。图6是力,本专利技术吸附单元与侧框的组合剖示图之图7是乂j本专利技术吸附单元与侧框的组合剖示图之图8是为本专利技术吸附单元(吸附剂设于该支撑结构中与侧框的组合剖示图。图9是为本专利技术吸附单元(吸附剂设于二层支撑结构中4侧J框的组合剖示图。具体实施例方式请参图1 图5 ，本专利技术是包括一正面框1 Q ，该正面框1 0上是设有至少 一 开口l 1，该开口l l是覆有滤网3 0 2，该正面框l 0的背侧是设有结合部1 0 1(请参图3 ，本实施例 设为 一 凹槽)。至少 一 侧框2 0 ，该侧框2 0是可设为V型或U 型以扩大吸附的面积，该侧框2 0是设有第 一 结合部2 0 1 ，本实施例该第 一 结合部2 0 1是设为 一 凸块， 该侧框2 0的凸块是结合于正面框1 0的凹槽中，以 使该侧框2 0与正面框1 Q相互活动结合，而该侧框2 0是另设有第二结合部2 0 2 ，本实施例中该第二 结合部2 0 2是设为 一 凸肋，该凸肋并设有气密条(图 未示)以防气体外泄，而侧框2 0外侧是可进 一 步设 有保护网4 0 。至少 一 吸附单元3 o ，该吸附单元3 0的二外侧 是各设有滤网3 0 2 ，该滤网3 0 2可设为不织布滤 网、细网或其它形式的滤网，且该些滤网3 0 2间设 有吸附剂3 0 1 ，该吸附单元3 0的二滤网3 0 2间亦可进 一 步设有 一 支撑结构3 Q 3 (本实施例是设为 一网格状结构，实际实施时亦可以蜂巢状或类似的结 构代替)，而该吸附剂3 0 1是设于该支撑结构3 0 3 中，且该吸附单元3 0是结合于该侧框2 0中，其中， 该吸附单元3 0亦可先结合于 一 吸附剂边框3 1后再 与侧框2 0相互活动结合，而该吸附剂边框3 1相对 于该正面框1 0的结合部1 0 1而设有第 一 结合部31 1(本实施例是设为 一 凸肋)，以及相对于该侧框20的第二结合部2 Q 2而设有第二结合部3 1 2 (本 实施例是设为-^凹槽)。请参图1图5，本专利技术的特点、是在于由正面框10、至少侧框20以及至少吸附单元30的组合设计，利用该侧框20的第一结合部201、吸附剂边框31的第结合部311与该正面框10的么士 A 5卩 n部101相互活动幺士合，该侧框20亦与吸附剂边框31活动结.合，且吸附剂边框31内的吸附单元3 0吸附饱和后，由从正面框10上活动拆离该侧框2 0、吸附剂边框31以抽换该吸附单元30，进而可重复更换使用该化学过滤网以进行气体的过滤，而无须置换整组化学过滤网，使化学过滤网的制作成本大幅降低，减少垃圾污染以达环保功能另，该吸附单元30亦可依需求与用途来选择置换，故可使微污染物质的去除效本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学过滤网结构，其特征在于，包括：　一正面框，设有至少一开口；　至少一侧框，该侧框与该正面框活动结合；以及　至少一吸附单元，该吸附单元的二外侧各设有滤网，且该二滤网间设有吸附剂，而该吸附单元结合于该侧框中；　由此，当该吸附单元吸附饱满时，由活动拆离该侧框以抽换该吸附单元，以供重复更换使用。

【技术特征摘要】
1、一种化学过滤网结构，其特征在于，包括一正面框，设有至少一开口；至少一侧框，该侧框与该正面框活动结合；以及至少一吸附单元，该吸附单元的二外侧各设有滤网，且该二滤网间设有吸附剂，而该吸附单元结合于该侧框中；由此，当该吸附单元吸附饱满时，由活动拆离该侧框以抽换该吸附单元，以供重复更换使用。2 、如权利要求1所述的化学过滤网结构，其特 征在于，其中该吸附单元的二滤网间进 一 步设有 一 支 撑结构，而该吸附剂设于该支撑结构中。3 、如权利要求1所述的化学过滤网结构，其特 征在于，其中该吸附单元的二滤网间进 一 步设有多数 个支撑结构，而该些支撑结构区隔为数层，且该些支 撑结构间进 一 步设有滤网，由此设置不同的吸附剂。4 、如权利要求1 、 2或3所述的化学过滤网结 构，其特征在于，其中该吸附单元进 一 步结合于 一 吸 附剂边框后再与侧框结合。5.如权利要求4所征在于，苴z 中该侧框上设设有凹槽，由侧框凸肋与以...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，林哲弘，陈寿忠，徐瑞珠，刘邦昱，洪守铭，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]