制造太阳能电池的方法技术

在此揭露一种制造太阳能电池的方法。此方法包含以下步骤：提供一基板；以具有复数个突起部的一物件触碰基板的表面，藉此在此表面上形成复数个压痕；随后，在基板的压痕表面上形成一透明导电层；在该透明导电层上形成一光伏层；接着在该光伏层上方形成一背面电极。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种，且特别是有关于一种形成具有纹理结构的太阳能电池的方法。
技术介绍
太阳能似乎是一种用之不竭的能源，因此太阳能的相关研究引起许多注意。太阳能电池便是为了将太阳能直接转换成电能而开发的装置。当前，太阳能电池通常由单晶硅、多晶硅或非晶硅制成。在2005年，开发了一种具有7%的高效率的太阳能电池，其为射极钝化背面局部扩散(Passivated Emitter with Rear Locally Diffused,PERLD)太阳能电池。在PERLD太阳能电池中，角锥状结构形成于透明导电层的表面上，以用于将入射光截留在该太阳能电池中。此外，在该太阳能电池中使用高质量硅晶圆。然而，该些类型太阳能电池的生产不仅需要高质量的硅晶圆，亦需要复杂的工艺，进而使制造程序成本高效益低。为改良上述问题，有人曾揭露一种藉由喷砂工艺来形成具纹理结构的玻璃基板。 然而，藉由喷砂工艺所形成的玻璃基板实质上具有不同的纹理结构。亦即，一玻璃基板上形成的纹理结构不同于另一玻璃基板。因此，在大量生产期间，可能不易达成质量控制，尤其是纹理玻璃的重复性难以达成。最近，开发一种用于太阳能电池中的纹理透明导电氧化物(TCO)。例如，藉由沉积工艺而形成掺杂氟的二氧化锡(SnO2 = F)的纹理层。掺杂氟的二氧化锡能够形成所要结晶表面，当在约500°C至600°C的温度下沉积时，其可形成柱状或角锥状的纹理结构。然而，必须在此高温下进行工艺，使制造程序成本高效益低。因此，目前仍亟需一种能解决上述问题的改良的制造方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种，以解决上述
技术介绍
中的至少一个问题。本专利技术提供一种。该方法包含以下步骤。提供具有一表面的一基板。应用具有复数个突起部的一导电物，以在该基板的表面上产生所要的图案，其可藉由对该导电物施加电压来进行。在该基板上形成复数个压痕。随后，在该透明基板的压痕表面上形成一透明导电层，在该透明导电层上形成一光伏层，且接着在该光伏层上形成一背面电极。根据本专利技术的一实施方式，上述方法还包含以下步骤在该物件的该些突起部抵压该基板的该表面之前或与此同时，量测该物件与该基板的该表面之间的一垂直距离。根据本专利技术的一实施方式，上述方法还包含以下步骤在该物件的该些突起部抵压该基板的该表面同时，藉由调整一补偿偏压来旋转该物件。根据本专利技术的一实施方式，上述方法还包含以下步骤在该物件的该些突起部抵3压该基板的该表面同时，沿着与该基板的该表面平行的一方向来移动该物件。根据本专利技术的一实施方式，该移动该物件的步骤藉由向该物件施加一补偿偏压来控制。其中该补偿偏压在ImV至IOmV之间。根据本专利技术的一实施方式，每一该些突起部的材料系由选自由石英、黄玉((AlF2) SiO4)、氮化钛(TiN)、钒土(Al2O3)、碳化硅(SiC)以及金刚石所组成的群组。根据本专利技术的一实施方式，每一该些突起部的高度为约3μπι至约17μπι。根据本专利技术的一实施方式，该基板的该压痕表面的一算术平均粗糙度为约IOnm 至约40nm。根据本专利技术的一实施方式、该透明导电层包含至少一材料，该材料选自由氧化铟锡；氧化锌；掺杂铝、氟、镓或硼的氧化锌；硫化镉；氧化镉；氧化锡以及掺杂氟的二氧化锡所组成的群组。本专利技术揭露的，可提高光电转换效率，且具极佳的再现性， 同时降低生产成本。附图说明为让本专利技术的上述和其它目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附图式的说明如下图IA至图IE绘示本专利技术一实施方式的制造太阳能电池的各步骤的横截面示意图。图2为根据本专利技术一实施例的的流程图。图3A及图;3B为本专利技术的一实施方式的物件的横截面示意图。图3C至图3E为本专利技术的一实施方式的物件的俯视示意图。图4为根据本专利技术的一实施方式的物件的移动方式示意图。主要附图标记说明100基板110表面120压痕130压痕表面200物件210突起部300透明导电层400光伏层410P型掺杂的非晶硅层420本质非晶硅层430η型掺杂的非晶硅层500背面电极900方法901步骤902步骤903 步骤904 步骤905 步骤906 步骤具体实施例方式为了使本专利技术的叙述更加详尽与完备，下文针对了本专利技术的实施态样与具体实施例提出了说明性的描述；但这并非实施或运用本专利技术具体实施例的唯一形式。实施方式中涵盖了多个具体实施例的特征以及用以建构与操作这些具体实施例的方法步骤与其顺序。 然而，亦可利用其它具体实施例来达成相同或均等的功能与步骤顺序。本专利技术以下所揭露的各实施例，在有益的情形下可相互组合或取代，也可在一实施例中附加其它的实施例，而无须进一步的记载或说明。本专利技术提供了一种用于。该方法包含以下步骤提供具有一表面的一基板；以具有复数个突起部的一物件抵压该基板的该表面，且藉此在该表面上形成复数个压痕；在该基板的该压痕表面上形成一透明导电层；在该透明导电层上形成一光伏层；及在该光伏层上方形成一背面电极。图IA至图IE绘示本专利技术一实施方式的制造太阳能电池各工艺步骤的横截面图。 图2绘示图IA至图IE的制造太阳能电池方法900的流程图。在步骤901中，提供一基板， 例如可为一透明玻璃基板。透明基板的材料并无特殊限制，只要此基板具有足够的耐热特性，而能忍受后续制造太阳能电池的工艺条件即可(特别是透明导电层以及沉积光伏层)。 请参见图1A，基板100具有实质上平坦的表面110，后续的工艺在表面110上进行。在一实施例中，基板100被一压力吸引而被固定在一特定位置。在步骤902中，提供如图IA绘示的具有复数个突起部210的物件200。步骤902 可在步骤901之后或之前进行。在一实施方式中，每一突起部210的高度可为约3 μ m至约 17 μ m0在一实施例中，每一突起部210的高度为约10 μ m。另外，突起部的形状不受限制， 其取决于基板所要的纹理结构。举例而言，如图3A及图;3B所示，每一突起部210可实质上具有一角锥形状、半球形状或圆锥形状。同时，图3C至图3E绘示本专利技术的一实施方式的物件200的俯视示意图。或者，根据不同需求，物件200可具有不同混合形状的复数个突起部 210。一般而言，突起部210由硬度高于基板100的硬度的材料所制成。举例而言，当基板 100由莫氏硬度值(亦称为莫氏矿物硬度标)约4. 5至约6. 5的玻璃所制成时，突起部210 可由石英、黄玉((AlF2)SiO4)、氮化钛(TiN)、钒土(Al2O3)、碳化硅(SiC)、金刚石或类碳金刚石所制成。在一实施方式中，突起部210及物件200可用相同的材料制成且可制造成一整块。 在一实施例中，突起部210及物件200两者由石英制成，且突起部210可藉由光微影来制造。可使用诸如反应式离子蚀刻(RIE)的干式蚀刻工艺来形成突起部210，但亦可以使用湿式蚀刻工艺来形成突起部210。在湿式蚀刻工艺，可使用例如饱和氟化氢铵溶液作为蚀刻剂。在另一实施方式中，突起部210及物件200的材料不相同。在一实施例中，将粒度为约 3 μ m至约17 μ m的复数个SiC颗粒配置在不锈钢制成的物件200上，且这些SiC颗粒形成物件200的突起部210。在步骤903中，以物件200的突起部210抵压基板100的表面110，且藉此在基板 100的表面110上形成复数个压本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种制造太阳能电池的方法，包含以下步骤：提供具有一表面的一基板；以具有复数个突起部的一物件抵压该基板的该表面，且藉此在该表面上形成复数个压痕；在该基板的该压痕表面上形成一透明导电层；在该透明导电层上形成一光伏层；以及在该光伏层上方形成一背面电极。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：黄初旺，翟静宜，
申请(专利权)人：杜邦太阳能有限公司，
类型：发明
国别省市：HK