本发明专利技术提供一种可提高蒸镀精度、设计自由度的有机EL显示装置。该有机EL显示装置，矩阵状地配置有多个有机EL元件，该有机EL元件具有阳极、阴极、以及夹在阳极和阴极之间的有机层，在行方向相邻的上述有机EL元件，其发光的颜色彼此不同，上述有机层的至少一层，在其列方向的端部，具有其蒸镀的行方向的宽度向最端部逐渐缩小的圆锥曲线的外缘。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及有机EL显示装置，尤其涉及其中的有机层的蒸镀。
技术介绍
有机EL显示装置的有机层的制膜方法有印刷法、蒸镀法。在使用了低分子有机材 料的有机EL显示装置中实际应用的主要是蒸镀法。另外，上部电极也同样通过蒸镀而成膜 的技术已成为主流。以往的有机膜的层叠结构，由作为下部电极的阳极电极、空穴注入层、空穴输送 层、发光层、电子输送层、LiF/Al的作为上部电极兼电子注入层的阴极电极构成。另外，作为有机层的形成方法，已知有这样的方法，即在应用使之具有因像素而异 的发光层的分涂法时，将阳极电极、空穴注入层、空穴输送层、阴极电极作为全部像素公用 的连续膜成膜，并按要发光的各像素分别涂敷电子输送层、发光层。
技术实现思路
本专利技术人研究了一种底部发射式的有源矩阵式有机EL显示装置的结构。正在进 行该研究的底部发射式的有源矩阵式有机EL显示装置的结构如下，将成为上部电极的阴 极的金属在有机膜的正上方成膜，并且为了向该阴极提供电压，通过触排(bank)的接触孔 与设置在电路基板的布线的电极(阴极触点)连接。以往，利用蒸镀掩模进行蒸镀的精度低，因此没有在像素附近配置接触用的接触 孔。本来，阴极触点的配置从防止阴极电压下降这层意义来看，尽量多、并且离像素近为好。 另外，考虑到设计自由度，可配置的区域越多越好。以往的蒸镀掩模特别是在其开口端部蒸镀精度较低，要实现在显示像素均勻地成 膜，就必需在远大于显示像素区域和虚设像素区域的区域蒸镀有机层。本专利技术的目的在于提供一种有机EL显示装置的结构，即使在显示像素和虚设像 素之外的蒸镀面积小也能提高蒸镀精度和设计自由度。本专利技术人注意到蒸镀精度的降低是由蒸镀掩模引起的。通常，为了蒸镀有机EL 显示装置的有机发光层，使用施加张力以将掩模保持为平面的张力掩模。为了确保张力掩 模的精度，适当地保持对掩模施加的张力很重要。这里，蒸镀掩模是这样制作的对厚度为 50-200 μ m的、被实施了精密加工的金属掩模片施加预定张力使其保持为平面，并将该金属 掩模片与外形形状为500mmX 400mm宽度为50mm厚度为25mm的金属制的掩模框进行粘接。蒸镀掩模被设计为，能够利用在薄板上加工出的致密的开孔对有机EL显示装置 的基板上的预定的位置进行高精度的蒸镀。在该蒸镀掩模上，由于蒸镀处理中的热应力的 施加，将产生微小的变形，发生蒸镀偏移。图1表示以往的蒸镀掩模的列方向的端部。如图1所示，以往的蒸镀掩模M-METl 的开口 M-APRl的端部M-EDGRl的形状呈矩形。矩形的开口，在该开口的两个顶点M-EDGl 应力集中。在这样的结构中，在端部产生的掩模的变形较大，考虑了变形的掩模设计非常困 难。在掩模组装工序或蒸镀处理中各种应力产生在掩模上时，应力集中在掩模的开口。此 时，产生于掩模的应力集中的部位是掩模端部，并且是该端部的角部。这里，当掩模端部为 方形时应力集中的地方有两处，成为掩模精度低的因素。因此，本专利技术人提供一种有机EL显示装置，矩阵状地配置有多个有机EL元件，该 有机EL元件具有阳极、阴极、以及夹在阳极和阴极之间的有机层，在上述多个有机EL元件 包括发不同颜色光的有机EL元件的情况下，使上述有机层的至少一层，在其列方向的端 部，其蒸镀的行方向的宽度向最端部逐渐缩小地构成。根据本专利技术，能够提高蒸镀精度，并能够提高设计自由度。附图说明图1是表示以往的蒸镀掩模的列方向的端部的图。图2是表示使用了本专利技术的蒸镀掩模的列方向的端部的图。图3是使用图2的蒸镀掩模进行蒸镀后的有机层的俯视图案。图4是表示以往的有机EL显示装置的有源矩阵基板的阴极接触部的剖视图的图。图5是表示第2实施例的有机EL显示装置的有源矩阵基板的阴极接触部的剖视 图的图。图6是表示第3实施例的有机EL显示装置的蒸镀区域的图。图7是图6的圆区域(像素区域的左上端部)的放大图。图8是表示第4实施例的有机EL显示装置的蒸镀区域的图。图9是表示第5实施例的有机EL显示装置的蒸镀区域的图。图10是表示第6实施例的有机EL显示装置的蒸镀区域的图。具体实施例方式以下说明本专利技术的实施例。图2表示使用了本专利技术的蒸镀掩模的形状。使用了本专利技术的蒸镀掩模，通过使掩 模部分M-MET2的开口 M-APR2的端部M-EDGR2的宽度向外侧突出地呈曲线状渐渐变窄，并 且使其顶点M-EDG2呈圆弧(倒园角)来分散应力。该形状是使顶端呈圆弧的也可称作近似三角形的形状，但也未必一定是曲线或圆 弧，也可以是直线连续连接着的结构。但是，优选的是可微分的曲线。另外，该曲线的种类， 优选的是能近似为圆锥曲线或2次曲线的曲线，更优选的是能近似为椭圆、抛物线、双曲线 的一部分的曲线。与矩形的情况相比最有效果的形状是使顶端呈圆弧的也可称作近似三角 形的形状。以往的蒸镀掩模的端部形状具有直角等的角，因此应力集中，而当如本实施例这 样，将蒸镀掩模开孔端部形状做成近似三角形，使侧边弯曲，在其顶端具有弧形状时，能够 将产生于蒸镀掩模的应力最集中的地方限制为1处，并且，采用曲线状可以分散应力，因此能够谋求精度提高，将有机发光层的蒸镀精度从以往的士 ΙΟμπι提高到士 5μπι。 使用该蒸镀掩模对有机EL显示装置的有机层进行蒸镀后的俯视图案示于图3。覆 盖显示像素区域PXL和虚设(dummy)像素区域DPXL地设置蒸镀区域EVAR，在其列方向的端 部具有有机膜的蒸镀端部0-EDG。另外，在虚设(dummy)像素区域的行方向的3个像素大小 的区域，蒸镀有预备蒸镀区域P-EVAR，在该预备蒸镀区域P-EVAR的列方向也存在有机膜的 蒸镀端部0-EDG。该蒸镀端部O-EDG的形状转印用图2说明的形状。但是，如果大致在蒸镀 掩模的端部呈说明过的形状，则因蒸镀掩模与基板的间隙而产生模糊。当然，即使产生了该 模糊也在本专利技术的范畴内。即，只要顶端部呈圆弧、或端部大致呈三角形地被蒸镀就在本发 明的范畴内。 具体地说，优选的是，在空穴注入层HIL和空穴输送层HTL的蒸镀中使用对像素区 域整体进行蒸镀的β蒸镀掩模，在发光层EML和电子输送层ETL的蒸镀中使用本专利技术的掩 模。即，做成在发光层EML和电子输送层ETL具有上述的蒸镀膜的有机EL显示装置。下面说明能够通过使用实施例1的蒸镀掩模而能蒸镀到虚设像素区域的外侧附 近来实现的有机EL显示装置的另一结构。以往，在用蒸镀法将阴极金属成膜时，在非常高 的温度下进行蒸镀，因此金属粒子所具有的热能也很大。考虑到将其附着在基板上时，由于 与电路基板的温度差而产生膜应力，在阴极接触部的接触电阻将增大。该接触电阻作为有 机EL显示元件的内部电阻发挥作用，它的增大将引起有机EL显示装置元件驱动电压的上 升，因此已成为有机EL显示装置的功耗增加的因素之一。本专利技术人研究后得知，使用实施例1的蒸镀掩模在使用了以下说明的结构时能够 降低功耗。图4表示以往的有机EL显示装置的有源矩阵基板的阴极接触部的剖视图。其 具有如下结构，在玻璃基板SUB之上按基底层UC、栅极氧化膜层GO、第1层间绝缘层INS1、 源极漏极金属层SD、第2层间绝缘层INS2、下部电极层AD、触排BNK、空穴注入层HIL、空穴 输送层HTL、发光层EML、电子输送层ETL、上部电极层⑶的顺序层叠以上各层。另本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种有机ＥＬ显示装置，矩阵状地配置有多个有机ＥＬ元件，形成显示区域，该有机ＥＬ元件具有阳极、阴极、以及夹在阳极和阴极之间的有机层，该有机ＥＬ显示装置的特征在于，上述阴极延伸到上述显示区域外，经由在上述显示区域外形成的多个接触孔接受阴极电压的供给，在上述多个接触孔的一部分，在上述阴极之下形成有上述有机层。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：松馆法治，大河原健，梶山健太，
申请(专利权)人：株式会社日立显示器，
类型：发明
国别省市：JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。