提供了一种制造有机发光显示装置的方法、用于有机发光显示装置的表面处理装置以及有机发光显示装置。为了容易地形成有机发射层，该方法包括：在基板上形成第一电极；在所述第一电极上形成具有开口的像素限定层，所述开口露出所述第一电极的预定部分；在所述像素限定层和通过所述开口露出的所述第一电极上形成电荷承载层；用激光有选择性地对所述电荷承载层的表面的部分进行疏水处理，其中这些部分不对应于所述开口；在所述电荷承载层上形成有机发射层；并且在所述有机发射层上形成第二电极以便与所述有机发射层电连接。
【技术实现步骤摘要】
当前的实施例涉及可以容易地形成有机发射层的制造有机发光显示装置的方法、 用于有机发光显示装置的表面处理设备以及有机发光显示装置。
技术介绍
便携式薄膜型平板显示设备已经被广泛使用。在平板显示装置中，电致发光显示装置是视角宽、对比度高和响应时间短的自发射型显示装置。因此，电致发光显示装置已经作为下一代显示装置而引人关注。同样，有机发光显示装置包括由有机化合物形成的发射层，并且具有好的亮度和驱动电压以及短的响应时间，并且与无机发光显示装置相比，能够形成多彩图像。有机发光显示装置包括阴极、阳极和有机发射层。当电压施加给阳极和阴极时，有机发光层发出可见光线。有机发光显示设备包括用于实现红色、绿色和蓝色可见光线的子像素以便实现自然色屏幕。有机发射层形成在红色子像素中以发射红色可见光线，有机发射层形成在绿色子像素中以发射绿色可见光线，并且有机发射层形成在蓝色子像素中以形成蓝色可见线。如果有机发射层没有形成在期望的相应子像素中，而是形成在其它子像素中，则这些有机发射层发射混合颜色的可见光线，从而降低了有机发光显示装置的图像质量。当利用喷嘴打印方法(其中使用喷嘴使溶液滴落)形成有机发射层时，这种问题可能会发生，从而难于提高有机发光显示装置的图片质量。当前的实施例克服了上述问题， 还提供了其它优点。
技术实现思路
当前的实施例提供了可以容易地形成有机发射层的制造有机发光显示装置的方法，还提供了用于有机发光显示装置的表面处理设备以及有机发光显示装置。根据当前实施例的一方面，提供了一种制造有机发光显示装置的方法，该方法包括在基板上形成第一电极；在所述第一电极上形成具有开口的像素限定层，所述开口使所述第一电极的预定部分露出；在所述像素限定层和通过所述第一开口露出的所述第一电极上形成电荷承载层；用激光选择性地对所述电荷承载层的表面的部分进行疏水处理，其中所述部分不对应于所述开口 ；在所述电荷承载层上形成有机发射层；以及形成第二电极以与所述有机发射层电连接。 所述有机发射层可以形成在所述电荷承载层上以对应于所述开口。 所述电荷承载层可以是空穴传输层和空穴注入层。疏水处理可以在氟化物气体的环境中来执行。所述氟化物气体可以包括CF4。疏水处理可以包括将由紫外激光源生成的激光束辐射到所述电荷承载层上，其中所述激光束穿过衍射光学元件(DOE)透镜、准直透镜以及投影透镜。在疏水处理时，弓丨导镜可以被用来沿期望的方向弓丨导所述激光束。疏水处理可以包括通过多角镜将由具有紫外激光源的光学系统生成的激光束辐射到所述电荷承载层上。疏水处理可以采用在由所述光学系统连续生成所述激光束的同时使所述多角镜旋转的方式来执行。疏水处理可以采用随着所述多角镜的旋转以从所述基板的一端到所述基板的另一端的带的形式扫描所述激光束的方式来执行。疏水处理可以包括以从所述基板的一端到所述基板的另一端的带的形式扫描所述激光束，而后沿与所述带的方向垂直的方向移动所述多角镜和所述基板或所述多角镜和所述光学系统。所述基板可以利用平台沿与所述带的方向垂直的方向移动。所述有机发射层的形成利用喷嘴打印方法来执行。根据本专利技术的当前实施例的另一方面，提供了一种用于有机发光显示装置的表面处理设备，用于对有机发光显示装置进行的表面进行处理，该有机发光显示装置包括基板、 形成在所述基板上的第一电极、形成在所述第一电极上的电荷承载层、形成在所述电荷承载层上的有机发射层以及电连接到所述有机发射层的第二电极，所述表面处理装置包括 包括紫外激光源的光学系统；以及多角镜，由该光学系统生成的激光束到达该多角镜。当由所述光学系统在氟化物气体的环境中连续生成所述激光束时，所述多角镜可以旋转。所述激光束可以随着所述多角镜的旋转，以从所述基板的一端到所述基板的另一端的带的形式扫描。所述激光束可以以从所述基板的一端到所述基板的另一端的带的形式扫描，而后所述基板或所述表面处理设备可以沿与所述带的方向垂直的方向移动。所述基板可以利用平台沿与所述带的方向垂直的方向移动。根据当前的实施例的另一方面，提供了一种利用上述方法制造的有机发光显示装置。附图说明当前的实施例的上述和其它特征和优点通过参照附图对其示例性实施例进行详细描述将变得更加明显，在这些附图中图IA至IG是顺序图示说明根据实施例的制造有机发光显示装置的方法的横截面视图；图2A至2D是顺序图示说明根据另一实施例的制造有机发光显示设备的方法的横截面视图；以及图3A至3E是顺序图示说明根据又一实施例的制造有机发光显示设备的方法的横截面视图。 具体实施例方式现在参照附图按照特征和操作更加详细地描述当前的实施例。图IA至IG是顺序图示说明根据实施例的制造有机发光显示装置100的方法的横截面视图。参见图1A，第一电极110形成在基板101上。在形成第一电极110之前，可以将薄膜晶体管(TFT)形成在基板101上。当前的实施例的方法可以用于制造有源矩阵有机发光显示装置和无源矩阵有机发光显示装置。基板101包括例如透明玻璃材料，该透明玻璃材料包括SW2作为主成分。然而，基板101并不限于此，并且可以包括例如透明塑料。塑料基板可以包括例如绝缘有机材料，例如，从由聚醚砜(PES)、聚丙烯酸酯(PAR)、聚醚酰亚胺(PEI)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、 聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚硫化苯(PPS)、聚酰亚胺、聚碳酸酯(PC)、三醋酸纤维素 (TAC)以及醋酸丙酸纤维素(CAP)组成的组中选择的绝缘有机材料。基板101还可以包括例如金属。该金属可以包括铁0 )、铬(Cr)、锰(Mn)、镍 (Ni)、钛(Ti)、钼(Mo)、不锈钢(SUS)、因瓦(Invar)合金、Inconel 合金(西弗吉尼亚享延顿的特殊金属公司)以及Kovar' 合金(宾夕法尼亚怀俄明辛的卡彭特技术公司)中的至少一种，但是并不限于此。基板101可以采用箔的形式。为了使基板101的顶表面平滑并且阻挡不纯的成分渗透进基板101，可以在基板 101上形成缓冲层(未示出)。第一电极110形成在基板101上。第一电极110可以用照相平版印刷术以预定的图案形成。在无源矩阵型有机发光显示装置中，第一电极110的图案可以形成为彼此间隔预定距离的条状线，而在有源矩阵型有机发光显示装置中，第一电极110的图案可以形成为与子像素相对应。第一电极110可以是反射电极或透射电极。当第一电极110为反射电极时，先由 Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、Li、Ca或者它们的化合物形成反射层，而后将ΙΤ0、 ΙΖ0, ZnOan2O3或者任何具有高的功函数的化合物沉积在反射层上以形成第一电极110。当第一电极110为透射电极时，第一电极110可以包括例如ΙΤ0、IZO、ZnO, In2O3 或者任何具有高的功函数的化合物。参见图1B，像素限定层120形成在第一电极110上。像素限定层120包括开口 120a，第一电极110通过开口 120a露出。像素限定层120包括例如各种绝缘材料。图IC是从图IB的方向X看的俯视图。开口 120可以呈矩形形状，但并不限于此。 例如开口 120a可以依据子像素的形状而具有多边形形状或者弯曲的形状。参见图1D，电荷承载层131形成在像素限定层120的整个表面和通过开口 1本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种制造有机发光显示装置的方法，该方法包括：在基板上形成第一电极；在所述第一电极上形成具有第一开口的像素限定层，所述第一开口使所述第一电极的预定部分露出；在所述像素限定层和通过所述第一开口露出的所述第一电极上形成电荷承载层；用激光和反应气选择性地对所述电荷承载层的表面的第一部分进行疏水处理，其中所述第一部分不对应于所述开口；在所述电荷承载层上形成有机发射层；并且形成第二电极以与所述有机发射层电连接。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：催银善，金元容，南命佑，朴镇翰，金成坤，金俊亨，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：KR
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