微流体系统用支持单元及其制造方法技术方案

本发明专利技术涉及微流体系统用支持单元及其制造方法。微流体系统用支持单元的制造方法，该制造方法至少具备以下的(i)、(ii)和(iii)的工序：(i)在基材上将至少一根中空丝敷设成任意的形状的工序；(ii)用清漆覆盖包含该中空丝的至少一部分的规定部分的工序；(iii)使该清漆的全部或者一部分固化的工序。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及以中空丝作为流路的。
技术介绍
在化学或生物化学的领域，正在进展关于应用MEMS (Micro Electro Mechanical System)技术的反应系或分析装置的小型化的研究，正在进行关于作为其中构成要素之一的微型泵、微型阀这样的具有单一功能的机械要素(微型机器)的研究开发(例如参照庄子，《化学工业》，化学工业社，2001年11月，第52卷，第11号，42-46页，及前田，《工^夕卜口二夕^实装学会志》，社团法人工^夕卜口二夕^实装学会，2002年1月，第5卷，第1号， 25-27 页)。近年来，将这些功能通过微小流路作为回路(系统)，以进行目的的化学反应或化学分析的研究正在盛行。一般说来，那些系统的完成形被称为微反应器系统(Micro Reactor System)、微化学分析系统(Micro Total Analysis System μ TAS)等。现在，作为该微小流路，例如提出了以使用蚀刻等在玻璃等的表面形成的沟作为微小流路的芯片型基板。该芯片型流路基板应用了半导体或者印刷电路板的光刻法技术。另一方面，以中空丝作为流路的微流体系统用支持单元，具有本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．微流体系统用支持单元的制造方法，该制造方法至少具备以下的（ｉ）、（ｉｉ）和（ｉｉｉ）的工序：（ｉ）在基材上将至少一根中空丝敷设成任意的形状的工序；（ｉｉ）用清漆覆盖包含该中空丝的至少一部分的规定部分的工序；（ｉｉｉ）使该清漆的全部或者一部分固化的工序。

【技术特征摘要】
2004.12.09 JP 2004-3566621.微流体系统用支持单元的制造方法，该制造方法至少具备以下的(i)、(ii)和(iii) 的工序(i)在基材上将至少一根中空丝敷设成任意的形状的工序；(ii)用清漆覆盖包含该中空丝的至少一部分的规定部分的工序；(iii)使该清漆的全部或者一部分固化的工序。2.微流体系统用支持单元的制造方法，该制造方法至少具备以下的(i)、(ii)、(iii) 和(iv)的工序(i)在基材上将至少一根中空丝敷设成任意的形状的工序；(ii)用清漆覆盖包含该中空丝的至少一部分的规定部分的工序；(iii)使该清漆的全部或者一部分固化的工序；(iv)在规定的部分形成保护层的工序。3.根据权利要求1或2所述的微流体系统用支持单元的制造方法，其中，在基材上敷设至少一根中空丝之前，进一步包括在该基材和该至少一根中空丝之间设置中间层的工序。...

【专利技术属性】
技术研发人员：赤井邦彦，河添宏，
申请(专利权)人：日立化成工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP