用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件及方法技术

本发明专利技术涉及一种用于沉积非晶硅薄膜电池的射频电源连接构件及方法，属于太阳电池技术领域，射频电源接口固定板上装有弹簧机构，该弹簧机构与带定位导套的活动板连接，所述定位导套内插有导柱形成导向定位机构，射频电源接口与阴极板接口通过导向定位机构定位对接，且由弹簧机构调整射频电源接口与阴极板接口的对接偏差。本发明专利技术不仅能实现阴极板接口和射频电源接口准确定位，而且能快速、稳固地实现阴极板接口和射频电源接口对接，还可以通过调整偏差部件调整阴极板接口和射频电源接口对接的偏差，进一步保证对接的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于沉积非晶硅薄膜电池的射频电源连接构件及方法，属于太阳电池

技术介绍
在非晶硅薄膜太阳能电池生产工艺中，沉积非晶硅层时需要给阴极板外加一个射频电源，在射频电源作用下在真空室内形成等离子体，进行均勻放电，实现低温沉积， 如专利号200820152147. 2《双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积夹具》及专利号 200610074522. 1《化学气相沉积夹具》都公开的化学气相沉积夹具，阴极板安装在沉积夹具上，沉积夹具可以移动，方便放置基片和拿取沉积好的基片。但对于一次沉积多片的夹具，需要多个阴极板和射频电源，形成阴极板组和相应的外接射频电源组，由于夹具是活动的，每次沉积时要将外接射频电源与阴极板连接，沉积后要将射频电源与阴极板分开。已有技术有通过手动或自动连接，其中手动连接是当沉积夹具推入真空室固定位置后，手动将阴极板接口插入相应的射频电源接口内，将接口锁紧螺母的内螺纹与接口锁紧螺栓的外螺纹拧紧，接口锁紧螺母同时带动拉紧轴套使阴极板接口电缆线与射频电源接口连接，对于一次沉积多片的连接机构，需要每个接口都用手动连接，工作效率低，不便于实现生产自动化。因此如本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．　一种用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，包括安装在沉积夹具上的阴极板接口固定板和装在真空室腔壁内的射频电源接口固定板，其特征在于所述射频电源接口固定板上装有弹簧机构，该弹簧机构与带定位导套的活动板连接，所述定位导套内插有导柱形成导向定位机构，射频电源接口与阴极板接口通过导向定位机构定位对接，且由弹簧机构调整射频电源接口与阴极板接口的对接偏差。

【技术特征摘要】
1.一种用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，包括安装在沉积夹具上的阴极板接口固定板和装在真空室腔壁内的射频电源接口固定板，其特征在于所述射频电源接口固定板上装有弹簧机构，该弹簧机构与带定位导套的活动板连接，所述定位导套内插有导柱形成导向定位机构，射频电源接口与阴极板接口通过导向定位机构定位对接，且由弹簧机构调整射频电源接口与阴极板接口的对接偏差。2.根据权利要求1所述的用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，其特征在于所述阴极板接口固定板上装有多个阴极板接口和多个定位导柱。3.根据权利要求1所述的用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，其特征在于所述连接构件的活动板上装有多个射频电源接口和多个定位导套。4.根据权利要求1所述的用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，其特征在于所述导柱安装在阴极板插接口固定板上。5.根据权利要求1所述的用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，其特征在于所述阴极板接口固定板装在沉积夹具的尾部...

【专利技术属性】
技术研发人员：李毅，施泽涛，
申请(专利权)人：深圳市创益科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：94