用于湿制程设备中的输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于湿制程设备中的输送装置。该输送装置包括上输送装置和下输送装置，上输送装置包括上滚轴、套设在所述上滚轴上并可沿垂直于上滚轴轴芯线方向自由移动的多个上滚轮、固定在所述上滚轴上用于定位多个上滚轮的多个定位装置，所述定位装置成对设置在每个上滚轮的两端部，所述上滚轮间隙配合固定在所述定位装置上。在工件水平（或接近水平）传动的过程中，所被输送的工件能够受到一定的由上滚轮的重力产生的压力，从而紧贴在下输送装置上实现平稳输送。这样，在下滚轮单边驱动或上下滚轮双边驱动的情况下，均能确保不会出现工件停止前进或偏移的问题。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

概括地说，本技术涉及太阳电池制造领域中一种用于湿制程设备中的输送装置；具体地说，本技术涉及一种用于湿制程设备中的活动滚轮式输送装置。
技术介绍
众所周知，湿制程(Wet Process)是基板制作中的重要工序。在该工序中，将处理液(例如各种化学药液或水)施加在基板表面上，从而实现镀通孔、镀金属、显影、刻蚀、镀保护膜、表面改性或清洗等工艺流程。目前通常使用水平或接近水平的湿制程设备和工艺，其湿制程设备向水平或接近水平经过的基板、硅片或其它片状件、板状件表面施加处理液，从而完成这些工件(例如板件)的湿制程处理。如图1中所示，现有技术中用于制造太阳电池的水平湿制程设备1包括喷液装置2、处理槽3和处理液输入装置4。当太阳电池片5经滚轮轴上的滚轮传送至湿制程设备1时，处理液输入装置4向处理槽3输入处理液，并由排液装置(未图示)从处理槽3中排出处理液并由喷液装置2喷向工件表面。另外，有一些水平湿制程设备具有多个处理槽，并且这些处理槽彼此相连通。常规的太阳电池湿制程设备中的输送装置具有水平排列的多根上滚轴和下滚轴，滚轴上装有滚轮，上、下滚轴滚轮的相对转动带动夹在上、下滚轮之间的太阳电池片在上、下本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于湿制程设备中的输送装置，所述输送装置包括上输送装置和下输送装置，所述上输送装置包括上滚轴、套设在所述上滚轴上并可沿垂直于上滚轴轴芯线方向自由移动的多个上滚轮、固定在所述上滚轴上用于定位多个上滚轮的多个定位装置，其特征是，所述定位装置成对设置在每个上滚轮的两端部，所述上滚轮间隙配合固定在所述定位装置上。

【技术特征摘要】
1.一种用于湿制程设备中的输送装置，所述输送装置包括上输送装置和下输送装置，所述上输送装置包括上滚轴、套设在所述上滚轴上并可沿垂直于上滚轴轴芯线方向自由移动的多个上滚轮、固定在所述上滚轴上用于定位多个上滚轮的多个定位装置，其特征是，所述定位装置成对设置在每个上滚轮的两端部，所述上滚轮间隙配合固定在所述定位装置上。2.如权利要求1所述的输送装置，其特征是，所述上滚轮的两端部具有缺口，所述定位装置端部具有与所述缺口间隙配合的凸...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺瑞勇，施利君，黄勇，
申请(专利权)人：库特勒自动化系统苏州有限公司，无锡尚德太阳能电力有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]