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本实用新型涉及一种用于湿制程设备中的输送装置。该输送装置包括上输送装置和下输送装置，上输送装置包括上滚轴、套设在所述上滚轴上并可沿垂直于上滚轴轴芯线方向自由移动的多个上滚轮、固定在所述上滚轴上用于定位多个上滚轮的多个定位装置，所述定位装置成...该专利属于库特勒自动化系统（苏州）有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过库特勒自动化系统（苏州）有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司授权不得商用。